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	薄膜宏观应力的微观表征方法研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013 作者: 蔺玲收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2016/11/28 二氧化铪薄膜，残余应力，弹性常数，微观表征，掠入射X射线衍射
	高介电栅介质材料HfO2掺杂后的物理电学特性（英文）期刊论文 OAI收割功能材料与器件学报, 2009, 卷号: 15, 期号: 1, 页码: 71-74 作者: 武德起 \| 收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2012/11/29 高介电栅介质材料激光分子束外延二氧化铪
	HfO_2/Si(001)界面层的TEM研究期刊论文 OAI收割电子显微学报, 2006, 期号: S1, 页码: 95-96 卓木金; 马秀良收藏 \| 浏览/下载：17/0 \| 提交时间：2012/04/12 界面层厚度:7807 栅介质层:3216 相对介电常数:2195 薄膜:2048 二氧化硅:1902 氧化铪:1889 透射电子显微镜:1813 等效厚度:1778 退火温度:1778 化学成分:1696
	采用新的T型发射极技术的自对准InP/GaInAs单异质结双极晶体管的性能(英文) 期刊论文 OAI收割半导体学报, 2006, 期号: 03 苏树兵; 刘训春; 刘新宇; 于进勇; 王润梅; 徐安怀; 齐鸣收藏 \| 浏览/下载：17/0 \| 提交时间：2012/01/06 二氧化铪离子束增强沉积高k电介质