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机构
合肥物质科学研究院 [4]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2004 [1]
2003 [2]
2002 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共4条,第1-4条
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负偏压形核法增强金刚石薄膜附着力研究
期刊论文
OAI收割
工具技术, 2004, 卷号: 038
-
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2020/10/26
负偏压形核
金刚石薄膜
附着力
微波等离子体化学气相沉积
硬质合金刀具
采用正交法研究金刚石偏压形核
期刊论文
OAI收割
材料开发与应用, 2003, 卷号: 018
-
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收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2020/10/26
偏压形核
化学气相沉积
正交试验
金刚石
微波等离子体
单晶硅衬底
薄膜
金刚石薄膜负偏压形核的边缘效应
期刊论文
OAI收割
高压物理学报, 2003, 卷号: 017
作者:
王传新
;
王建华
;
马志斌
;
满卫东
;
王升高
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浏览/下载:73/0
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提交时间:2020/10/26
金刚石薄膜
负偏压形核
边缘效应
微波等离子体化学气相沉积
甲烷浓度
偏压大小
异质外延
金刚石薄膜异质外延的研究进展
期刊论文
OAI收割
真空与低温, 2002, 卷号: 008
作者:
王传新
;
汪建华
;
满卫东
;
马志斌
;
王生高
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2020/11/23
金刚石薄膜
异质外延
CVD
半导体材料
偏压形核
生长控制
外延生长