机构

• 沈阳自动化研究所 [9]
• 微电子研究所 [2]
• 长春光学精密机械与物... [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]
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采集方式

• OAI收割 [14]

内容类型

• 期刊论文 [10]
• 学位论文 [4]

发表日期

• 2013 [1]
• 2012 [1]
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浏览/检索结果: 共14条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 半导体制造过程R2R控制方法研究进展 期刊论文  OAI收割 现代制造工程, 2013, 期号: 3, 页码: 4-10,99 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：72/0  |  提交时间：2013/10/05 半导体制造  过程控制  R2R控制方法  指数加权移动平均  预测控制   CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究 学位论文  OAI收割 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012 王亮 收藏  |  浏览/下载：333/0  |  提交时间：2012/07/27 半导体制造  化学机械研磨  Run-to-Run控制  预测控制  过程控制   集束型半导体装备建模与仿真技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011 郑秀红 收藏  |  浏览/下载：180/0  |  提交时间：2012/07/27 半导体制造  集束型  随机Petri网  建模  仿真   光刻过程RtR控制方法研究进展分析 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2011, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 199-205 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2012/05/29 半导体制造业  光刻过程  RtR控制  过程控制  模型预测控制  多变量控制器  控制方法  研究进展  关键尺寸  过程建模   有滞留时间约束的集束型装备在线调度问题研究 期刊论文  OAI收割 控制与决策, 2011, 卷号: 26, 期号: 1, 页码: 37-43,48 作者:  李林瑛;  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/05/29 半导体制造  集束型装备  在线调度  粒子群优化算法  滞留时间约束  晶圆  问题研究  调度问题  机械手  调度方法   集束型半导体制造装备优化调度问题研究 学位论文  OAI收割 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2010 李林瑛 收藏  |  浏览/下载：346/0  |  提交时间：2012/07/27 半导体制造  集束型装备  数学规划模型  调度算法  集束型装备控制系统   半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究 期刊论文  OAI收割 系统仿真学报, 2010, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 1942-1946 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/05/29 半导体制造  两集束型装备  调度  线性规划模型   多集束型装备调度的k晶圆周期序列问题 期刊论文  OAI收割 计算机集成制造系统, 2010, 卷号: 16, 期号: 1, 页码: 109-114 作者:  李林瑛;  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/05/29 半导体制造  多集束型装备  双臂机械手  缓冲加工模块  并行机  调度   复杂单臂机器人集束型装备调度模型 期刊论文  OAI收割 信息与控制, 2009, 卷号: 38, 期号: 4, 页码: 431-436 作者:  李林瑛;  胡静涛   |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/11/29 半导体制造  集束型装备  混合整数规划模型  并行腔  可重入腔   MOCVD TiN薄膜在先进集成电路制造中应用的研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 易万兵   收藏  |  浏览/下载：85/0  |  提交时间：2012/03/06 氮化钛  半导体制造  薄膜电阻率  晶体结构  金属有机物化学气相淀积