机构

• 上海微系统与信息技术... [5]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 学位论文 [4]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2012 [1]
• 2011 [1]
• 2003 [1]
• 2001 [1]
• 2000 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 三轴集成加速度传感器及其SIP微模块集成的研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 王军诚 收藏  |  浏览/下载：112/0  |  提交时间：2013/04/24 压阻式三轴集成加速度传感器  抗过载  SIP微模块  芯片级封装   基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11 魏长征; 周伟; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/04/13 压阻式加速度传感器  表面微机械技术  片上静电自检测功能   一种微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2003 黄树森   收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/03/06 微机械技术  压阻式加速度传感器  微梁直拉直压  灵敏度  谐振频率     小量程悬臂梁微机械压阻式加速度传感器研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海冶金研究所  , 2001 李浩   收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2012/03/06 加速度传感器:7293  压阻式:4277  小量程:3846  微机械:2928  悬臂梁结构:2194  压阻式传感器:356  传感器设计:246  芯片工艺:228  温度性能:213  制导系统:207     悬臂梁结构微机械压阻式加速度传感器研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院上海冶金研究所  , 2000 金虎   收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/03/06 加速度传感器:6637  悬臂梁结构:5502  压阻式:4054  微机械:2896  小量程:437  薄膜应力:416  横向效应:388  氧化硅:368  复合薄膜:329  应力作用:298