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机构
上海微系统与信息技术... [5]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
学位论文 [4]
期刊论文 [1]
发表日期
2012 [1]
2011 [1]
2003 [1]
2001 [1]
2000 [1]
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共5条,第1-5条
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三轴集成加速度传感器及其SIP微模块集成的研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
王军诚
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基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器
期刊论文
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李昕欣
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一种微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器
学位论文
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硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2003
黄树森
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小量程悬臂梁微机械压阻式加速度传感器研究
学位论文
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硕士: 中国科学院上海冶金研究所 , 2001
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悬臂梁结构微机械压阻式加速度传感器研究
学位论文
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