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机构
上海微系统与信息技术... [7]
力学研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [8]
内容类型
期刊论文 [7]
学位论文 [1]
发表日期
2011 [1]
2008 [1]
2007 [2]
2005 [1]
2003 [2]
1989 [1]
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基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器
期刊论文
OAI收割
仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11
魏长征
;
周伟
;
李昕欣
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2012/04/13
压阻式加速度传感器
表面微机械技术
片上静电自检测功能
基于Taguchi三次设计的微机械陀螺健壮性设计
期刊论文
OAI收割
上海交通大学学报, 2008, 期号: 02
张正福
;
王安麟
;
刘广军
;
姜涛
;
焦继伟
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2012/01/06
体硅工艺
深度反应离子刻蚀
背片技术
面内侧面压阻
纳米级定位平台
基于TinyOS的无线传感器网络构建
期刊论文
OAI收割
单片机与嵌入式系统应用, 2007, 期号: 07
肖建荣
;
钱建生
;
王营冠
;
陆晔顼
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2012/01/06
硅微机械加工技术
压阻
碰撞
加速度计
微机械陀螺结构形状自组织优化方法
期刊论文
OAI收割
机械工程学报, 2007, 期号: 07
刘广军
;
王安麟
;
姜涛
;
焦继伟
;
张正福
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浏览/下载:38/0
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提交时间:2012/01/06
硅微机械加工技术
三轴加速度计
压阻
高g
塑封
图形化SOI LDMOS功率器件的性能分析
期刊论文
OAI收割
微处理机, 2005, 期号: 04
程新红
;
宋朝瑞
;
俞跃辉
;
赵天麟
;
李树良
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/01/06
纳米硅尖制造技术
电阻加热器
压阻灵敏度
高密度存储技术
基于DSP的DPSK差分解调的实现及研究
期刊论文
OAI收割
移动通信, 2003, 期号: S2
方浩华
;
王跃林
;
徐会勤
;
金仲和
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提交时间:2012/01/06
悬臂梁-针尖探针
纳机电系统技术
压阻敏感
电热纳米针尖
数据存储技术
一种微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2003
黄树森
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提交时间:2012/03/06
微机械技术
压阻式加速度传感器
微梁直拉直压
灵敏度
谐振频率
爆炸力学实验技术新进展
期刊论文
OAI收割
力学进展, 1989, 卷号: 19, 期号: 3, 页码: 336-352
作者:
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提交时间:2009/08/03
压力-疗切加载
准等熵压缩技术
超高速发射器
激光和粒子束冲击
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位移测量
瞬态温度测量
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