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	基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器期刊论文 OAI收割仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11 魏长征; 周伟; 李昕欣收藏 \| 浏览/下载：23/0 \| 提交时间：2012/04/13 压阻式加速度传感器表面微机械技术片上静电自检测功能
	基于MOS电容衬底压阻的纳米梁检测研究期刊论文 OAI收割传感器与微系统, 2011, 期号: 12 丁萃; 成海涛; 杨恒收藏 \| 浏览/下载：29/0 \| 提交时间：2012/04/13 纳米梁谐振器压阻检测 MOS电容
	用于纳米梁位移检测的MOS电容下压阻结构会议论文 OAI收割第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议, 2009 成海涛; 杨恒; 王跃林收藏 \| 浏览/下载：5/0 \| 提交时间：2012/01/18 金属氧化物半导体纳米梁位移检测压阻结构
	集成硅微机械谐振式悬臂梁传感器与快速生化检测学位论文 OAI收割博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2009 于海涛收藏 \| 浏览/下载：33/0 \| 提交时间：2012/03/06 微机电系统　生化传感器　悬臂梁　电热驱动　压阻检测　快速重复检测　超枝化敏感膜　多壁碳纳米管
	基于压阻检测的双端固支硅纳米梁研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2007 赵全斌收藏 \| 浏览/下载：38/0 \| 提交时间：2012/03/06 微纳机电系统双端固支硅纳米梁压阻检测 Ar离子注入谐振特性
	OFDM系统载波跟踪环的研究期刊论文 OAI收割信息安全与通信保密, 2006, 期号: 06 姜华; 史清; 袁晓兵; 刘海涛收藏 \| 浏览/下载：11/0 \| 提交时间：2012/01/06 悬臂梁压阻敏感电磁激励 AGC式闭环电路谐振模态质量检测分辨率
	基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究会议论文 OAI收割传感技术学报, 2006 赵全斌; 焦继伟; 杨恒; 林梓鑫; 李铁; 张颖; 王跃林收藏 \| 浏览/下载：30/0 \| 提交时间：2012/01/18 双端固支硅纳米梁压阻检测 Ar离子轰击谐振特性
	创新一号小卫星星载计算机控制系统设计期刊论文 OAI收割计算机工程, 2006, 期号: 18 王平; 孙宁; 李华旺; 包海超; 尹增山; 刘海涛收藏 \| 浏览/下载：28/0 \| 提交时间：2012/01/06 双端固支硅纳米梁压阻检测 Ar离子轰击谐振特性
	MEMS悬臂梁磁场传感器与谐振悬臂梁电磁驱动技术学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2006 刘剑收藏 \| 浏览/下载：137/0 \| 提交时间：2012/03/06 悬臂梁压阻检测静磁力驱动自标定 AGC 谐振器闭环电路