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上海光学精密机械研究... [3]
长春光学精密机械与物... [1]
生态环境研究中心 [1]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
期刊论文 [4]
专利 [1]
发表日期
2018 [1]
2017 [1]
2006 [3]
学科主题
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共5条,第1-5条
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一种颗粒物-水界面水质参数原位测量系统
专利
OAI收割
专利号: CN108572126A, 申请日期: 2018-09-25, 公开日期: 2018-09-25
作者:
曲久辉
;
况亮
;
刘会娟
;
马百文
;
威廉艾伦·杰斐逊
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4m口径SiC反射镜原位检测用静压支撑系统
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2017, 页码: 2607-2613
作者:
胡海飞
;
赵宏伟
;
刘振宇
;
罗霄
;
张学军
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基于光学对准的光刻机投影物镜密集线焦深原位检测技术
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 85, 90
施伟杰
;
王向朝
;
张冬青
;
王帆
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基于镜像焦面检测对准标记的套刻性能原位测量技术
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 398, 402
施伟杰
;
王向朝
;
张冬青
;
马明英
;
王帆
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光刻机投影物镜的像差原位检测新技术
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 679, 684
张冬青
;
王向朝
;
施伟杰
;
王帆
收藏
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