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期刊论文 [7]
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发表日期
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热原子层沉积钛掺杂氧化镓薄膜的光学性能
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2023, 卷号: 52, 期号: 6
作者:
李存钰
;
朱香平
;
赵卫
;
李继超
;
胡景鹏
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收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2023/11/06
氧化镓薄膜
Ti掺杂Ga2O3薄膜
热原子层沉积
折射率
光学带隙
基于纳米功能膜层设计与性能调控的高性能微通道板研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2023
作者:
朱香平
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收藏
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2023/07/26
电子倍增器
微通道板
原子层沉积
导电层
二次电子产额
原子层沉积制备氧化镓薄膜及其光学性能研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2023
作者:
李存钰
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收藏
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浏览/下载:40/0
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提交时间:2023/07/27
Ga2O3 薄膜
原子层沉积
Ti 掺杂Ga2O3 薄膜
折射率
光学带隙
原子层沉积TiO2:Al2O3薄膜电阻率调控机制研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2023
作者:
李继超
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收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2023/07/19
原子层沉积
微通道板
导电层
二氧化钛
氧化铝
基于原子层沉积技术微通道板功能层调控机制的研究
学位论文
OAI收割
西安: 西安交通大学(光机所联合培养), 2020
作者:
郭俊江
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收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2020/09/22
原子层沉积
微通道板
导电层
二次电子发射层
增益
原子层沉积微通道板的研究进展
期刊论文
OAI收割
材料导报, 2020, 卷号: 34, 期号: 2, 页码: 03080-03089
作者:
郭俊江
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收藏
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浏览/下载:144/0
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提交时间:2020/03/30
微通道板
原子层沉积
功能层
增益
寿命
用于柔性电子器件的有机无机交替结构薄膜封装的研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所, 2018
作者:
吴杰
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收藏
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2019/03/28
柔性电子,薄膜封装,有机无机交替结构,水氧阻隔性,原子层沉积,等离子体增强化学气相沉积
硫化锌薄膜的原子层沉积生长及表征
期刊论文
OAI收割
红外, 2017, 期号: 2, 页码: 1-6
作者:
孙常鸿
;
张鹏
;
张天宁
;
陈鑫
;
叶振华
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收藏
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2018/11/20
原子层沉积
硫化锌
薄膜
PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响(英文)
期刊论文
OAI收割
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者:
陈芳
;
方铉
;
王双鹏
;
牛守柱
;
方芳
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2017/09/17
氮化铝
等离子增强原子层沉积
生长速率
结晶化
表面粗糙度
沉积温度
扩散掺杂的p型ZnO薄膜的光学性质研究
期刊论文
OAI收割
光谱学与光谱分析, 2015, 期号: 07, 页码: 1787-1790
作者:
陈芳
;
房丹
;
王双鹏
;
方铉
;
唐吉龙
收藏
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2016/07/06
扩散掺杂
p型ZnO
P掺杂
原子层沉积
光致发光
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