机构

• 上海光学精密机械研究... [2]
• 光电技术研究所 [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2012 [1]
• 2008 [1]
• 2007 [1]
• 1996 [1]

学科主题

• 光学薄膜 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 单层二氧化铪(HfO_2)薄膜的特性研究 期刊论文  OAI收割 光电工程, 2012, 卷号: 39, 期号: 2, 页码: 134-140 作者:  艾万君;  熊胜明 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/11/21 电子束蒸发  离子束辅助沉积  离子束反应溅射  HfO2薄膜  薄膜特性   离子束技术在光学薄膜中的应用 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2008 作者:  王聪娟 收藏  |  浏览/下载：170/0  |  提交时间：2016/11/28 光学薄膜  离子束清洗  离子束辅助  离子束辅助反应沉积  离子束后处理   离子束辅助反应制备的氧化铪薄膜特性 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 12, 页码: 2087 王聪娟; 晋云霞; 邵建达; 范正修 收藏  |  浏览/下载：886/173  |  提交时间：2009/09/22 薄膜  Thin film  氧化铪  Hafnium oxide  离子束辅助  Ion-assisted deposition  反应沉积  Reactive deposition   离子束辅助沉积氮化碳膜及反应离子束合成非晶碳化硅膜研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海冶金研究所）  , 1996 吴招促 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/03/06 低能离子束增强沉积  反应离子束沉积  氮化碳薄膜  非晶含氢碳化硅薄膜  成分  结构  性能  沉积条件