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• 光电技术研究所 [5]
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采集方式

• OAI收割 [14]

内容类型

• 期刊论文 [7]
• 学位论文 [6]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2012 [1]
• 2007 [4]
• 2006 [2]
• 2004 [1]
• 2003 [2]
• 2001 [1]
• 更多

学科主题

• 光学工程 [1]

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浏览/检索结果: 共14条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 双工件台光刻机中的焦面控制技术 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2012, 卷号: 32, 期号: 12, 页码: 241-245 作者:  李金龙;  胡松;  赵立新 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/11/23 光学器件  光刻术  调平调焦  双工件台光刻机   掩模移动曝光系统精密定位工件台技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2007 佟军民 收藏  |  浏览/下载：73/0  |  提交时间：2013/11/19 掩模移动曝光技术  精密定位工件台  移动直线性  移动正交性   一种检测光刻机激光干涉仪测量系统非正交性的新方法 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2007, 卷号: 34, 期号: 8, 页码: 1130, 1135 何乐; 王向朝; 马明英; 施伟杰; 王帆 收藏  |  浏览/下载：1086/168  |  提交时间：2009/09/18 测量  measurement  激光干涉仪  interferometer  非正交性  non-orthogonality  光学对准  optic alignment  工件台  wafer stage  光刻机  lithographic tool   一种测量光刻机工件台方镜不平度的新方法 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2007, 卷号: 34, 期号: 4, 页码: 519, 524 何乐; 王向朝; 马明英 收藏  |  浏览/下载：1680/350  |  提交时间：2009/09/18 测量  干涉测量  不平度  方镜  工件台  光刻机  measurement  interferometry  non-flatness  mirror  wafer stage  lithographic tool   国际主流光刻机研发的最新进展 期刊论文  OAI收割 激光与光电子学进展, 2007, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 57, 64 袁琼雁; 王向朝 收藏  |  浏览/下载：1128/170  |  提交时间：2009/09/18 光刻机  双工件台技术  偏振光照明  折反式物镜  浸没式光刻  下一代光刻  lithographic tools  dual -stage technology  polarized illumination  catadioptric lens  immersion lithography  next generation lithography   100nm线宽ArF步进扫描投影光刻机步进和同步扫描运动模型研究 学位论文  OAI收割 博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006 胡松 收藏  |  浏览/下载：118/0  |  提交时间：2013/11/19 光学光刻  同步扫描  控制算法  工件台  对准  调平调焦   电子束曝光机激光定位精密工件台测量系统研究 学位论文  OAI收割 硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006 乔俊仙 收藏  |  浏览/下载：119/0  |  提交时间：2013/11/19 激光干涉仪  精密工件台  电子束曝光机  误差分析  误差补偿   100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的发展 期刊论文  OAI收割 光机电信息, 2004, 期号: 05, 页码: 20-24 作者:  李志来;  董吉洪 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2013/03/11 光刻机  工件台  掩模台   六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 15-21 宋文荣; 于国飞; 王延风; 何惠阳; 田兴志 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2013/03/11 光刻  磁悬浮  x-y工件台  定位精度  步进扫描  逐场调平调焦   飞行光学聚焦特性自适应控制及光刻机工件台掩模台技术方案 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2003 作者:  高海军 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2016/11/28 飞行光学  聚焦特性  变形镜  工件台  掩模台