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长春光学精密机械与物... [5]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
期刊论文 [4]
会议论文 [1]
发表日期
2009 [1]
2005 [1]
2003 [2]
2002 [1]
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共5条,第1-5条
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平面电磁型微电机定转子制作工艺
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2009, 期号: 9
作者:
吴一辉
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2012/09/25
微电机
大深宽比
平面线圈
深刻蚀
微电铸
AZ4903光刻胶在微电机定子绕组制作中的应用
期刊论文
OAI收割
清华大学学报(自然科学版), 2005, 期号: 08, 页码: 1062-1065
作者:
吴一辉
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浏览/下载:130/0
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提交时间:2013/03/11
机械制造工艺
AZ4903
电磁型平面微电机
绕组线圈
电磁型平面微电机及其制作工艺
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2003, 期号: 02, 页码: 120-124
作者:
吴一辉
;
王淑荣
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2013/03/11
平面微电机
LIGA工艺
双转子平面微电机定子制作工艺研究
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 73-75+80
作者:
王淑荣
;
梁静秋
;
张平
;
吴一辉
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2013/03/11
双转子
平面微电机
定子
孔引线
准LIGA技术
基于微机械工艺的平面电机及其制作
会议论文
OAI收割
中国北京
作者:
吴一辉
;
梁静秋
;
张平
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2013/03/19
平面微电机
定子
转子
LIGA工艺