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采集方式

• OAI收割 [25]

内容类型

• 期刊论文 [16]
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• 会议论文 [1]

发表日期

• 2014 [1]
• 2009 [2]
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• 2004 [1]
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学科主题

• 红外探测材料与器件 [1]

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浏览/检索结果: 共25条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种低成本高效率气动式微流控混合器 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2014, 卷号: 51, 期号: 9, 页码: 588-592, 609 作者:  童兆宏;  董再励;  刘连庆;  姚萍 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2014/11/03 主动式微流控混合器  微流控芯片  聚二甲基硅氧烷(PDMS)  数控雕刻机(CNC)  微机械加工   服务于微电子产业的MEMS新技术 会议论文  OAI收割 第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009 程融; 蒋珂玮; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2012/01/18 微电子产业 UV-LIGA技术 金属电镀 MEMS器件 微细加工 硅微机械   SOI基光耦合器与二维光子晶体研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 方娜 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/03/06 绝缘体上硅  　微纳米光学  　三维模斑转换器  　微机械加工工艺  　二维光子晶体　   “8悬臂梁-质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文  OAI收割 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007 王育才 收藏  |  浏览/下载：99/0  |  提交时间：2012/03/06 微加速度计  8悬臂梁-质量块  微机械加工  各向异性腐蚀   氧化钒微测辐射热计非致冷红外焦平面研制 学位论文  OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2007 作者:  陈永平   |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/06/25 非致冷焦平面  微测辐射热计  氧化钒  微机械加工  Cmos读出电路   基于TinyOS的无线传感器网络构建 期刊论文  OAI收割 单片机与嵌入式系统应用, 2007, 期号: 07 肖建荣; 钱建生; 王营冠; 陆晔顼 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/01/06 硅微机械加工技术  压阻  碰撞  加速度计   微机械陀螺结构形状自组织优化方法 期刊论文  OAI收割 机械工程学报, 2007, 期号: 07 刘广军; 王安麟; 姜涛; 焦继伟; 张正福 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2012/01/06 硅微机械加工技术  三轴加速度计  压阻  高g  塑封   半绝缘GaAs光电导天线辐射THz电磁波展宽特性分析 期刊论文  OAI收割 西安理工大学学报, 2007, 期号: 03 贾婉丽; 施卫 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/01/06 微机械陀螺  健壮性优化  微加工误差  固有频率  数学模型   铰链式高冲击微加速度传感器封装的有限元模拟 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2007, 期号: 02 车录锋; 卢云; 徐志农 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/01/06 微加速度计  微机械加工  各向异性腐蚀   “8悬臂梁—质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 王育才   收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/03/06 微加速度计  8悬臂梁-质量块  微机械加工  各向异性腐蚀