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基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器
期刊论文
OAI收割
仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11
魏长征
;
周伟
;
李昕欣
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提交时间:2012/04/13
压阻式加速度传感器
表面微机械技术
片上静电自检测功能
基于MEMS技术的PCR扩增器的研究与发展
会议论文
OAI收割
99'中国生物医学电子学学术年会, 1999
赵湛
;
崔大付
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2010/09/04
聚合酶链反应扩增器
微机械电子系统
生物信息技术
PCR扩增器
基因克隆
服务于微电子产业的MEMS新技术
会议论文
OAI收割
第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009
程融
;
蒋珂玮
;
李昕欣
收藏
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2012/01/18
微电子产业 UV-LIGA技术 金属电镀 MEMS器件 微细加工 硅微机械
基于TinyOS的无线传感器网络构建
期刊论文
OAI收割
单片机与嵌入式系统应用, 2007, 期号: 07
肖建荣
;
钱建生
;
王营冠
;
陆晔顼
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2012/01/06
硅微机械加工技术
压阻
碰撞
加速度计
微机械陀螺结构形状自组织优化方法
期刊论文
OAI收割
机械工程学报, 2007, 期号: 07
刘广军
;
王安麟
;
姜涛
;
焦继伟
;
张正福
收藏
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2012/01/06
硅微机械加工技术
三轴加速度计
压阻
高g
塑封
一种铰链式高量程加速度传感器及其力学性能分析
期刊论文
OAI收割
机械强度, 2007, 期号: 03
卢云
;
徐志农
;
车录锋
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2012/01/06
微型质子交换膜燃料电池
硅微机械
阳极流场
燃料利用率
MEMS技术
梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2005, 期号: 02
董林玺
;
车录锋
;
王跃林
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/01/06
硅
微机械
陀螺
微机械加工技术
实现微型质子交换膜燃料电池的MEMS技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2005
陈聪
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2012/03/06
微机械技术
质子交换膜燃料电池
自呼吸
数学模型
液相外延YBCO膜中氧扩散
期刊论文
OAI收割
低温物理学报, 2003, 期号: S1
张宏
;
杜柯
;
姚忻
;
曾新华
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/01/06
微电子机械系统
微传感器
微执行器
微机械技术
基于微机械加工技术的双腔型生物传感器
期刊论文
OAI收割
化学通报, 2003, 期号: 08
贾能勤
;
章宗穰
;
朱建中
;
张国雄
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提交时间:2012/03/29
K1 双腔型生物传感器
微机械加工技术
半乳糖
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