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电子学研究所 [12]
上海微系统与信息技术... [2]
长春光学精密机械与物... [1]
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OAI收割 [15]
内容类型
期刊论文 [11]
学位论文 [3]
会议论文 [1]
发表日期
2010 [1]
2009 [3]
2008 [1]
2007 [5]
2006 [4]
1993 [1]
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基于MEMS技术的PCR扩增器的研究与发展
会议论文
OAI收割
99'中国生物医学电子学学术年会, 1999
赵湛
;
崔大付
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2010/09/04
聚合酶链反应扩增器
微机械电子系统
生物信息技术
PCR扩增器
基因克隆
一种基于MEMS技术的谐振式气体微流量传感器的设计与制造
学位论文
OAI收割
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009
郭然
收藏
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浏览/下载:79/0
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提交时间:2011/07/19
微机械电子系统
气体微流量传感器
电磁激励
静电激励
湿法腐蚀
有限元仿真
一种基于MEMS技术的谐振式气体微流量传感器的设计与制造
学位论文
OAI收割
硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009
郭然
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2011/07/19
微机械电子系统
气体微流量传感器
电磁激励
静电激励
湿法腐蚀
有限元仿真
卫星自主故障诊断专家系统中知识库的设计
期刊论文
OAI收割
航天控制, 2009, 期号: 05
姜连祥
;
李华旺
;
杨根庆
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2012/01/06
圆片级测试
芯片测试探卡
微机械电子系统
过孔互连
镍探针阵列
集成电路芯片圆片级测试用MEMS探卡技术研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
汪飞
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浏览/下载:57/0
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提交时间:2012/03/06
微机械电子系统
芯片测试探卡
过孔互连
悬臂梁探针阵列
接触电阻
基于昆虫毛状感触器的微型流速传感器有限元分析
期刊论文
OAI收割
传感技术学报, 2007, 卷号: 20, 期号: 4, 页码: 735-737
陈健
;
陈德勇
;
王军波
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2010/05/19
微机械电子系统
仿生传感器
有限元模拟
微尺度低速气体流动
应变片
谐振式微加速度传感器的有限元分析
期刊论文
OAI收割
传感技术学报, 2007, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 96-100
陈健
;
陈德勇
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2010/05/19
微机械电子系统
谐振式微加速度传感器
有限元模拟
非完全匹配的双端固定音叉
基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究
期刊论文
OAI收割
传感技术学报, 2007, 卷号: 20, 期号: 3, 页码: 516-518
陈健
;
陈德勇
;
王军波
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2010/05/19
微机械电子系统
电热驱动谐振式微加速度传感器
三梁结构
交叉灵敏度
有限元模拟
谐振式低速气体流速传感器的理论建模
期刊论文
OAI收割
仪器仪表学报, 2007, 卷号: 28, 期号: 5, 页码: 804-806
陈健
;
陈德勇
;
王军波
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2010/05/19
微机械电子系统
谐振式气体流量传感器
粘滞系数
有限元模拟
一种新颖的微杠杆结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用
期刊论文
OAI收割
传感技术学报, 2007, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: 274-278
陈健
;
陈德勇
;
王军波
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2010/05/19
微机械电子系统
微杠杆结构
谐振式微加速度传感器
有限元模拟