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浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2011, 期号: 01 戚玉婕; 车录锋; 孙腾; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2012/04/13 电容式加速度计  反馈补偿参数  Q值  微机械系统  MATLAB   SOI微机械结构和相关器件研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 武爱民 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/03/06 绝缘体上的硅  　微机械系统  　压力传感器  　有限元分析  　二维光子晶体　   日本近年RF EMS开关研究的进展 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2006, 卷号: 35, 期号: 1, 页码: 43-45 作者:  景玉鹏;  黄钦文;  石莎莉;  焦斌斌;  李超波   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2010/05/26 射频表面微机械系统  高频开关  高频继电器   低功耗低噪声正交压控振荡器设计 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2006, 期号: 04 袁徐亮; 程知群; 孙晓伟 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/01/06 微电子机械系统  噪声机制  微机械悬臂梁  分辨率   液相外延YBCO膜中氧扩散 期刊论文  OAI收割 低温物理学报, 2003, 期号: S1 张宏; 杜柯; 姚忻; 曾新华 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/01/06 微电子机械系统  微传感器  微执行器  微机械技术   电磁驱动电容式振动微机械陀螺接口电路研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2003 付盛荣   收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/03/06 微电子机械系统  振动式微机械陀螺  电容式  电磁驱动  自激振荡  C-V变换     非极性小分子有机液体在微管道中的流量特性 期刊论文  OAI收割 力学学报, 2002, 卷号: 34, 期号: 3, 页码: 432-438 作者:  李战华;  周兴贝;  朱善农 收藏  |  浏览/下载：1258/56  |  提交时间：2010/05/03 微管道流动  有机液体  非极性液体  微机械系统  尺度效应   栅结构微机械振动式陀螺 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2001 熊斌   收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/03/06 微电子机械系统  微机械陀螺  角速度传感器  等效电路模型  空气阻尼     MEMS器件的设计、模拟与测试 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2001 车录锋 收藏  |  浏览/下载：89/0  |  提交时间：2012/03/06 微电子机械系统  压力传感器  加速度传感器  微机械陀螺  静电致动器  有限元模型  等效电路模型  机械耦合   利用LIGA技术研制超微步进电机 期刊论文  OAI收割 微特电机, 2001, 期号: 3, 页码: 18-20 作者:  伊福廷;  彭良强;  张菊芳;  韩勇 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2015/12/25 LIGA技术  超微步进电机  微机械系统  微加工技术