机构

• 上海微系统与信息技术... [9]
• 宁波材料技术与工程研... [1]
• 电子学研究所 [1]
• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [12]

内容类型

• 期刊论文 [11]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2018 [1]
• 2012 [1]
• 2011 [1]
• 2009 [1]
• 2008 [1]
• 2007 [1]
• 更多

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共12条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 MEMS固体波动陀螺谐振子现状及发展 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2018, 卷号: 55, 期号: 10, 页码: 738-745 作者:  庄须叶;  江南;  易剑;  张军安;  郭述文   |  收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2018/12/04 微机电系统(Mems)  固体波动陀螺仪  超高q值  单晶金刚石  3d超精密加工   无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2012, 期号: 8, 页码: 1772-1781 翟雷应; 徐静; 钟少龙; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2013/02/22 微机电系统(MEMS)  光相位调制器  无交叠垂直梳齿驱动器  平动微镜  保角变换法  静电驱动   低电压驱动的MEMS F-P可调光学滤波器研究 期刊论文  OAI收割 光电子.激光, 2011, 期号: 07 翟雷应; 徐静; 李四华; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/04/13 微机电系统(MEMS)  Fabry-Pérot(F-P)腔  可调光滤波器  静电驱动   键合方法对聚二甲基硅氧烷液滴型微流控芯片的影响 期刊论文  OAI收割 化学学报, 2009, 期号: 13 李俊君; 陈强; 李刚; 朱自强; 赵建龙 收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2012/01/06 微机电系统  MEMS微夹持器  侧面压阻  微操作   翘板式射频MEMS开关的研究 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2008, 卷号: 45, 期号: 5, 页码: 5，282-286 作者:  罗小光;  刘茂哲;  李全宝;  焦斌斌;  高超群   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/05/27 射频开关  单晶硅  微机电系统（mems）  静电驱动  驱动电压  共面波导（cpw）   周期性缺陷接地结构的微带线 期刊论文  OAI收割 电波科学学报, 2007, 期号: 04 刘海文; 孙晓玮; 李征帆; 孙玲玲 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/01/06 微机电系统(MEMS)  Pyrex玻璃  湿法刻蚀  表面质量   百瓦级新型金属双极板PEM燃料电池堆研制 期刊论文  OAI收割 电源技术, 2006, 期号: 02 王东; 张伟; 刘向; 夏保佳; 李国欣 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/01/06 微型质子交换膜燃料电池(mPEMFC)  微机电系统(MEMS)技术  单晶硅片   数字射频存储器用GaAs超高速3bit相位ADC的设计与实现 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2005, 期号: 07 张有涛; 夏冠群; 李拂晓; 高建峰; 杨乃彬 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/01/06 微型质子交换膜燃料电池(μPEMFC)  微机电系统(MEMS)  单晶硅片  压缩比   基于SOI衬底加工的微型电场传感器研究 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2004, 卷号: 2, 期号: 7, 页码: 284-287 邓凯; 夏善红; 龚超; 白强; 陈绍凤 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2010/05/19 微机电系统(MEMS)  绝缘体上硅(SOI)  阳极键合  深反应离子刻蚀   微机械光读出热成像系统 会议论文  OAI收割 2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会, 2003 冯飞; 焦继伟; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/01/18 微机电系统(MEMS) 光读出热成像 焦平面阵列 可动微镜