中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
高能物理研究所 [9]
上海微系统与信息技术... [7]
长春光学精密机械与物... [3]
电子学研究所 [3]
微电子研究所 [3]
光电技术研究所 [2]
更多
采集方式
OAI收割 [29]
内容类型
期刊论文 [22]
学位论文 [4]
会议论文 [3]
发表日期
2022 [1]
2017 [1]
2014 [1]
2013 [2]
2010 [1]
2009 [5]
更多
学科主题
Sensor [1]
传感器 [1]
粒子物理与原子核物理 [1]
筛选
浏览/检索结果:
共29条,第1-10条
帮助
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
题名升序
题名降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
发表日期升序
发表日期降序
多轴联动数控激光刻型加工关键技术及装备研发
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2022, 卷号: 49, 期号: 10
作者:
刘强
;
王健
;
孙鹏鹏
;
李明
;
王辉
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:143/0
  |  
提交时间:2022/08/29
微细加工
激光刻型
轨迹规划
光机电协同控制
工艺参数优化
五轴联动数控
基于微流控芯片的液滴生成及单细胞包裹方法研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2017
文娜
收藏
  |  
浏览/下载:17/0
  |  
提交时间:2017/06/06
微流控技术
微流控液滴
微细加工
单细胞分析
单细胞包裹
接近式光刻对准中的叠栅干涉测角方法
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2014, 期号: 12, 页码: 162-168
作者:
佟军民
;
周绍林
;
赵立新
;
胡松
收藏
  |  
浏览/下载:22/0
  |  
提交时间:2016/11/23
测量
干涉测量
叠栅技术
微细加工
光刻
仿生复眼成像系统设计与制作的研究进展
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2013, 期号: 01, 页码: 34-45
作者:
孙强
;
卢振武
;
张红鑫
收藏
  |  
浏览/下载:34/0
  |  
提交时间:2014/03/07
仿生复眼
成像系统
微透镜阵列
光学设计
微细加工
基于数控雕刻机的微流控芯片制作方法
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2013, 卷号: 50, 期号: 10, 页码: 635-638,661
作者:
高宏伟
;
刘连庆
;
张晓龙
;
焦念东
收藏
  |  
浏览/下载:133/0
  |  
提交时间:2013/12/27
微流控芯片
数控雕刻机
不对称路径
微电子机械系统(MEMS)
微细加工
毫米波H10到H02o波导模式变换链器设计与模拟
会议论文
OAI收割
中国电子学会微波学会第五届全国毫米波亚毫米波学术会议, 2004
薛谦忠
;
张世昌
;
刘濮鲲
收藏
  |  
浏览/下载:16/0
  |  
提交时间:2010/09/04
毫米波
模式转换器
数值计算
电磁模拟
数控加工
微细加工
电铸技术
模式变换链
基于自组装PS球阵列的超衍射光刻
学位论文
OAI收割
博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
李淑红
收藏
  |  
浏览/下载:83/0
  |  
提交时间:2013/11/19
纳米结构
微细加工
光刻
自组装
传导波
倏逝波
表面等离子体
负折射率材料
超衍射光刻
湿法化学腐蚀法估算GaN外延层中位错密度
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2009, 期号: 12
曹明霞
;
于广辉
;
王新中
;
林朝通
;
卢海峰
;
巩航
收藏
  |  
浏览/下载:28/0
  |  
提交时间:2012/01/06
视觉修复
视网膜假体
神经刺激
柔性微电极
微细加工
服务于微电子产业的MEMS新技术
会议论文
OAI收割
第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009
程融
;
蒋珂玮
;
李昕欣
收藏
  |  
浏览/下载:30/0
  |  
提交时间:2012/01/18
微电子产业 UV-LIGA技术 金属电镀 MEMS器件 微细加工 硅微机械
星载DBF接收天线误差校正算法
期刊论文
OAI收割
航空学报, 2009, 期号: 11
顾菁华
;
龚文斌
;
余金培
收藏
  |  
浏览/下载:11/0
  |  
提交时间:2012/01/06
神经微电极
柔性基底
聚对二甲苯
微细加工