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	一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感器期刊论文 OAI收割固体电子学研究与进展, 2009, 期号: 01 毛健; 车录锋; 林友玲; 李玉芳; 周晓峰; 熊斌; 王跃林收藏 \| 浏览/下载：30/0 \| 提交时间：2012/01/06 微机电系统扫描微镜约束扭转单晶硅直梁横向弯矩扭转力矩
	石油勘探用MEMS加速度传感器噪声机理研究期刊论文 OAI收割传感器与微系统, 2007, 期号: 01 王俊杰; 车录锋; 吴浩; 王跃林收藏 \| 浏览/下载：17/0 \| 提交时间：2012/01/06 光学电流传感器微电子机械系统扭转微镜温度补偿耦合损耗
	基于MEMS的光学电流传感器与微纳安检流计的研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2007 赵本刚收藏 \| 浏览/下载：62/0 \| 提交时间：2012/03/06 微电子机械系统光学电流传感器微纳安检流计扭转微镜双光纤准直器
	基于摄动法的微机械陀螺随机性能的统计分析期刊论文 OAI收割上海交通大学学报, 2006, 期号: 11 姜涛; 王安麟; 刘广军; 张颖; 焦继伟收藏 \| 浏览/下载：23/0 \| 提交时间：2012/01/06 微电子机械系统(MEMS) 光学电流传感器(OCS) 绝缘体上的Si(SOI) 扭转微镜温度补偿
	基于FPGA的卫星遥测遥控通道设计与实现期刊论文 OAI收割航空计算技术, 2006, 期号: 05 谢胜民; 杨根庆收藏 \| 浏览/下载：9/0 \| 提交时间：2012/01/06 电子技术微机电系统光学电流传感器扭转微镜双光纤准直器
	原位电子束诱导碲化锑(Sb_2Te_3)及硅掺杂的晶化期刊论文 OAI收割电子显微学报, 2006, 期号: S1 孙明达; 韩晓东; 张晓娜; 张泽; 刘波; 宋志棠; 封松林收藏 \| 浏览/下载：22/0 \| 提交时间：2012/01/06 微电子机械系统光学电流传感器扭转微镜双光纤准直器滤波温度补偿