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• 期刊论文 [7]
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发表日期

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• 2009 [2]
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学科主题

• 工程与技术科学基础学... [1]

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浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 新型光刻技术研究进展 期刊论文  OAI收割 激光技术, 2019, 卷号: 043 作者:  何立文;  罗乐   |  收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2020/10/26 激光技术  光学制造  新型光刻技术  无掩模光刻  掩模光刻  微纳结构   三维微纳结构的光刻及其表面形貌测量方法的研究 学位论文  OAI收割 北京: 中国科学院大学, 2018 作者:  邓钦元   |  收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2018/05/24 三维微纳结构  无掩模光刻  非线性  白光干涉  空间调制度   采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统 期刊论文  OAI收割 红外与激光工程, 2014, 期号: 5, 页码: 1505-1510 作者:  康玉思;  魏忠伦;  刘伟奇;  张大亮;  冯睿 收藏  |  浏览/下载：90/0  |  提交时间：2015/04/17 无掩模光刻  照明系统  激光光束整形  矩形平顶光束  自由曲面   DMD无掩模光刻机主控软件系统的设计 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2014, 卷号: 51, 期号: 10, 页码: 673-678 作者:  冯金花;  胡松;  李艳丽;  何渝 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/11/23 无掩模光刻  数字光刻  数据管理  调焦  对准   Ⅰ型-β无掩模激光直写光刻系统 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014 作者:  胡永璐 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2016/11/28 无掩模光刻  激光直写  微纳加工  自动聚焦  刻写分辨率   一种适用于数字微镜无掩模光刻的图形拼接方法 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2012, 卷号: 39, 期号: 6, 页码: 229-233 作者:  朱江平;  胡松;  于军胜;  陈铭勇;  何渝 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2016/11/23 图像处理  图形曝光  图形拼接  无掩模光刻  数字微镜  灰度调制   一种数字光栅无掩模光刻对准方法 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2012, 卷号: 39, 期号: 3, 页码: 244-249 作者:  唐路路;  胡松;  徐峰;  唐燕;  陈铭勇 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/23 光栅  数字光栅  变频率光栅  无掩模光刻  对准方法   高能聚焦质子束无掩模刻写方法研究初步 期刊论文  OAI收割 核技术, 2009, 期号: 6 刘江峰; 包良满; 李晓林 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/05/23 微结构  质子束刻写  无掩模  光刻胶   无掩模激光直写纳米光刻机 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009 作者:  范永涛 收藏  |  浏览/下载：242/0  |  提交时间：2016/11/28 激光直写  无掩模光刻  微纳加工  自动聚焦  功率标定   用于100nm节点ArF准分子激光光刻的相移掩模技术 期刊论文  OAI收割 光电工程, 2004, 卷号: 31, 期号: 1, 页码: 1-4,39 作者:  陈宝钦;  冯伯儒;  张锦;  宗德蓉;  刘娟   |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/05/26 激光光刻技术  相移掩模  准分子光刻  无铬相移掩模  交替相移掩模  衰减相移掩模  混合相移掩模