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浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于高次谐波的高功率高稳定13.5 nm极紫外光源 期刊论文  OAI收割 中国激光/Chinese Journal of Lasers, 2024, 卷号: 51, 期号: 07, 页码: 172-179 作者:  李逵;  孟润宇;  李睿晅;  张光银;  姚铭杰   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2024/05/06 激光器  高次谐波  极紫外激光  13.5 nm光源  软X射线  飞秒激光   大连极紫外相干光源 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2019, 卷号: 46, 期号: 01, 页码: 43-50 作者:  余永;  李钦明;  杨家岳;  王光磊;  史磊   |  收藏  |  浏览/下载：72/0  |  提交时间：2020/10/19 激光光学  自由电子激光  极紫外激光  能源基础研究   蓝光二极管抽运掺镨氟化钇锂晶体腔内倍频348.9nm紫外激光器 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2018, 期号: 12, 页码: 19-23 作者:  牛娜;  曲大鹏;  窦微;  任广胜;  周阳   |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2019/09/17 激光器  紫外激光器  掺镨氟化钇锂晶体  蓝光激光二极管   应用于极紫外光刻系统多层膜的研究进展 期刊论文  OAI收割 量子电子学报, 2014, 卷号: 31 作者:  秦娟娟;  董伟伟;  周曙;  游利兵;  方晓东   |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2020/11/23 激光技术  极紫外光刻  极紫外多层膜  沉积方法   “LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统 期刊论文  OAI收割 中国光学, 2013, 期号: 04, 页码: 544-550 作者:  姜振华;  郭劲;  王挺峰 收藏  |  浏览/下载：161/0  |  提交时间：2014/03/07 极紫外光源  CO2激光器  参数监测  指向控制   超强超短激光脉冲的优化及极紫外X射线光源的研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010 作者:  蔡懿 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/28 超强超短激光脉冲，对比度，波前，等离子体镜，高次谐波，极紫外光   LD抽运355-nm准连续紫外激光器 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2009, 卷号: 000 作者:  吴边;  王首长;  张少飞;  胡爱兰;  郭强   |  收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2020/11/23 激光技术  准连续紫外激光  三倍频  激光二极管侧面抽运  LBO晶体   用于光刻的EUV光源 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2007, 卷号: 2007, 期号: 01, 页码: 12-16 赵环昱; 赵红卫   |  收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2010/10/29 光刻  极紫外光源  放电等离子  激光等离子体  Ecr等离子体   17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2005, 期号: 02, 页码: 225-230 作者:  尼启良;  陈波 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2013/03/11 极紫外  激光等离子体  单色仪  微通道板   EUV波段电光成像系统分辨率的实验研究 期刊论文  OAI收割 光谱学与光谱分析, 2004, 期号: 05, 页码: 529-531 作者:  陈波 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2013/03/11 极紫外  分辨率  激光等离子体  单色仪  MCP