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	梁式结构动力模型降阶方法及其应用期刊论文 OAI收割动力学与控制学报, 2020, 页码: 8 作者: 赵阳; 许博谦; 李晓波; 李玉韦 \| 收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2021/07/06 梁式结构模型降阶液体推进剂模态分析
	硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真期刊论文 OAI收割仪表技术与传感器, 2017, 卷号: 000 作者: 平文; 孔德义; 单建华 \| 收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2020/10/26 谐振式压力传感器敏感结构谐振梁硅膜模态仿真灵敏度
	复合材料梁帽式铺层风力机叶片会议论文 OAI收割中国工程热物理学会-流体机械, 2013 魏远; 李春; 李志敏收藏 \| 浏览/下载：24/0 \| 提交时间：2013/11/28 叶片复合材料梁帽式铺层结构分析 PreComp
	基于薄膜SOI材料的GaN外延生长应力释放机制期刊论文 OAI收割功能材料与器件学报, 2007, 期号: 04 孙佳胤; 陈静; 王曦; 王建峰; 刘卫; 朱建军; 杨辉收藏 \| 浏览/下载：20/0 \| 提交时间：2012/01/06 微机械陀螺 x轴音叉式陀螺 “8悬臂梁-质量块”结构限制槽 (111)硅晶圆
	微机械谐振梁压力传感器研究学位论文 OAI收割博士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2002 陈德勇收藏 \| 浏览/下载：17/0 \| 提交时间：2011/07/19 谐振式压力传感器微电子机械低应力氮化硅谐振梁电热激励半岛结构
	微机械谐振梁压力传感器研究学位论文 OAI收割博士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2002 陈德勇收藏 \| 浏览/下载：64/0 \| 提交时间：2011/07/19 谐振式压力传感器微电子机械低应力氮化硅谐振梁电热激励半岛结构
	小量程悬臂梁微机械压阻式加速度传感器研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海冶金研究所 , 2001 李浩收藏 \| 浏览/下载：37/0 \| 提交时间：2012/03/06 加速度传感器:7293 压阻式:4277 小量程:3846 微机械:2928 悬臂梁结构:2194 压阻式传感器:356 传感器设计:246 芯片工艺:228 温度性能:213 制导系统:207
	悬臂梁结构微机械压阻式加速度传感器研究学位论文 OAI收割硕士, 北京: 中国科学院上海冶金研究所 , 2000 金虎收藏 \| 浏览/下载：30/0 \| 提交时间：2012/03/06 加速度传感器:6637 悬臂梁结构:5502 压阻式:4054 微机械:2896 小量程:437 薄膜应力:416 横向效应:388 氧化硅:368 复合薄膜:329 应力作用:298