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• 会议论文 [1]

发表日期

• 2009 [1]
• 2006 [1]
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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 MEMS射频薄膜体声波谐振器（FBAR）研究 学位论文  OAI收割 博士, 声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2009 汤亮 收藏  |  浏览/下载：223/0  |  提交时间：2011/05/07 微机电系统  薄膜体声波谐振器  高次谐波体声波谐振器  氧化锌  氮化铝  滤波器  振荡器  传感器   锂离子电池电解液功能组分的设计 期刊论文  OAI收割 电池, 2006, 期号: 06 谢晓华; 陈立宝; 高阳; 孙伟; 解晶莹 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/01/06 氮化铝薄膜  正交设计  溅射参数  择优取向   氮化铝薄膜发光性能的研究进展 会议论文  OAI收割 2005全国真空冶金与表面工程学术会议, 沈阳, 2005-07-14 佟洪波; 巴德纯; 肖金泉; 闻立时 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/08/21 薄膜  氮化铝  电致发光  发光性能   SIMOX硅片埋氧层垂直方向热导率的测量 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2003, 期号: 10 何平; 刘理天; 田立林; 李志坚; 董业明; 陈猛; 王曦 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/01/06 氮化铝薄膜  应力  高分辨X射线衍射   IBED薄膜合成及TiAl表面改性研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海冶金研究所）  , 1994 徐东 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/03/06 离子束增强沉积  氮化铝薄膜  抗腐蚀性  氮化硅薄膜  表面改性   离子束增强反应磁控溅射低温快速沉积AlN膜 期刊论文  OAI收割 无机材料学报, 1993, 期号: 3, 页码: 321-326 王浩,黄荣芳,吴杰,洪瑞江,闻立时 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/04/12 薄膜  氮化铝  磁控溅射