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上海微系统与信息技术... [5]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
期刊论文 [3]
会议论文 [2]
发表日期
2004 [2]
2003 [3]
学科主题
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浏览/检索结果:
共5条,第1-5条
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氧氮共注入提高SIMOX材料抗辐射性能研究
会议论文
OAI收割
上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会, 2004
张恩霞
;
钱聪
;
张正选
;
王曦
;
张国强
;
李宁
;
郑中山
;
刘忠立
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2012/01/18
氧氮共注 离子注入 辐照加固 半导体器件
感性负载驱动控制IC版图设计
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2004, 期号: 10
王家斌
;
高勇进
;
黄绪江
;
张炜
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/01/06
氧氮共注
氮氧共注隔离
SIMON
SOI
注入剂量
微桥法研究低应力氮化硅力学特性及误差分析
期刊论文
OAI收割
机械强度, 2003, 期号: 04
宗登刚
;
王钻开
;
陆德仁
;
王聪和
收藏
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浏览/下载:53/0
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提交时间:2012/01/06
氧氮共注
SIMON
SOI
离子注入
Fe-Zr-B非晶薄膜退火后的组织与性能
期刊论文
OAI收割
热处理, 2003, 期号: 04
徐炜新
;
程新利
;
金惠娟
;
许裕生
收藏
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提交时间:2012/01/06
SIMON
SOI
氮氧共注入
SOIM新结构与自加热效益
会议论文
OAI收割
第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会, 2003
谢欣云
;
林青
;
刘卫丽
;
林成鲁
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提交时间:2012/01/18
SOIM 自加热效益 MEDICI软件 SOIM器件 氮氧离子共注入方法