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电弧离子镀沉积工艺参数的影响
期刊论文
OAI收割
真空, 2018, 卷号: 55, 期号: 06, 页码: 49-59
作者:
赵彦辉
;
史文博
;
刘忠海
;
刘占奇
;
于宝海
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提交时间:2018/12/25
电弧离子镀
弧电流
沉积气压
基体偏压
沉积温度
沉积温度对高功率脉冲磁控溅射AlCrSiN涂层结构和性能的影响
期刊论文
OAI收割
稀有金属材料与工程, 2018, 卷号: 47, 期号: 08, 页码: 2578-2584
作者:
王铁钢
;
李柏松
;
张姣姣
;
唐宽瑜
;
刘艳梅
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浏览/下载:64/0
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提交时间:2018/12/25
HiPIMS
AlCrSiN涂层
沉积温度
力学性能
摩擦系数
PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响(英文)
期刊论文
OAI收割
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者:
陈芳
;
方铉
;
王双鹏
;
牛守柱
;
方芳
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提交时间:2017/09/17
氮化铝
等离子增强原子层沉积
生长速率
结晶化
表面粗糙度
沉积温度
沉积温度对CrB_2涂层结构与性能的影响
期刊论文
OAI收割
中国表面工程, 2016, 卷号: 29, 期号: 137, 页码: 69-76
张树参
;
李晓伟
;
王丽
;
张栋
;
柯培玲
;
李志勇
;
汪爱英
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提交时间:2016/09/18
沉积温度
CrB2涂层
微结构
硬度
韧性
沉积温度对磁控溅射制备V-Al-Si-N硬质涂层结构及性能的影响
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 8, 页码: 1005-1010
王恩青
;
李淼磊
;
朱萍
;
黄峰
;
岳建岭
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提交时间:2016/09/18
磁控溅射
V-Al-Si-N涂层
沉积温度
生长结构
摩擦磨损
沉积温度对钛硅共掺杂类金刚石薄膜生长、结构和力学性能的影响
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2014, 卷号: 63, 期号: 2, 页码: 028104(1-7)
作者:
姜金龙
;
黄浩
;
王琼
;
王善民
;
魏智强
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提交时间:2014/12/17
类金刚石薄膜
共掺杂
沉积温度
结构与性能
diamond-like carbon film
deposition temperature
co-doping
structure and properties
沉积温度对硫化锌(ZnS)薄膜的结晶和光学特性影响研究
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2013, 卷号: 62, 期号: 21
于天燕
;
秦杨
;
刘定权
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提交时间:2014/11/05
硫化锌薄膜
沉积温度
表面形貌
光学常数
沉积温度对电子束物理气相沉积制备YBCO薄膜性能与结构的影响
会议论文
OAI收割
中国力学大会——2013, 中国北京, 2013-08-19
作者:
王连红
;
刘崇
;
樊菁
;
舒勇华
;
李帅辉
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浏览/下载:44/0
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提交时间:2014/04/02
YBCO
沉积温度
薄膜结构
性能与结构
超导性能
衬底温度
织构
表面形貌
蒸发源
电子束蒸镀
XRD
自主研制
室温
单晶
两步法
力学研究
射线衍射
致密的
尺寸
纯度
热蒸发紫外LaF_3薄膜光学性能和结构表征
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2012, 期号: 10, 页码: 136-140
作者:
靳京城
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提交时间:2013/03/11
薄膜
沉积温度
热蒸发
LaF3
光学损耗
基片温度对纳米金刚石薄膜制备的影响
期刊论文
OAI收割
武汉工程大学学报, 2012, 期号: 4, 页码: 39-42+46
江川
;
汪建华
;
熊礼威
;
翁俊
;
苏含
;
刘鹏飞
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提交时间:2012/07/07
微波等离子体
化学气相沉积
纳米金刚石薄膜
沉积温度