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	采用双自由曲面整形的无掩模光刻照明系统期刊论文 OAI收割红外与激光工程, 2014, 期号: 5, 页码: 1505-1510 作者: 康玉思; 魏忠伦; 刘伟奇; 张大亮; 冯睿收藏 \| 浏览/下载：87/0 \| 提交时间：2015/04/17 无掩模光刻照明系统激光光束整形矩形平顶光束自由曲面
	可用于光刻自动聚焦的高灵敏度流量计式位移检测系统学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014 作者: 刘涛收藏 \| 浏览/下载：28/0 \| 提交时间：2016/11/28 测量激光光刻自动聚焦喷嘴挡板
	可用于光刻自动聚焦的高灵敏度流量计式位移检测系统期刊论文 OAI收割中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 8, 页码: 808003 作者: 刘涛; 徐文东; 赵成强; 王闯; 胡永璐收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2016/11/25 测量激光光刻自动聚焦气动微距检测喷嘴挡板热线探针
	可用于光刻自动聚焦的高灵敏度流量计式位移检测系统期刊论文 OAI收割中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 8, 页码: 808003 作者: 刘涛; 徐文东; 赵成强; 王闯; 胡永璐收藏 \| 浏览/下载：25/0 \| 提交时间：2016/11/28 测量激光光刻自动聚焦气动微距检测喷嘴挡板热线探针
	可用于光刻自动聚焦的高灵敏度流量计式位移检测系统期刊论文 OAI收割中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 8, 页码: 808003 作者: 刘涛; 徐文东; 赵成强; 王闯; 胡永璐收藏 \| 浏览/下载：27/0 \| 提交时间：2016/11/28 测量激光光刻自动聚焦气动微距检测喷嘴挡板热线探针
	光刻机系统中193nm薄膜的研究进展期刊论文 OAI收割激光与光电子学进展, 2006, 卷号: 43, 期号: 1, 页码: 11, 14 尚淑珍; 易葵; 邵建达; 范正修收藏 \| 浏览/下载：1141/120 \| 提交时间：2009/09/22 光刻 193nm 光学薄膜准分子激光光刻光刻机系
	用于100nm节点ArF准分子激光光刻的相移掩模技术期刊论文 OAI收割光电工程, 2004, 卷号: 31, 期号: 1, 页码: 1-4,39 作者: 陈宝钦; 冯伯儒; 张锦; 宗德蓉; 刘娟 \| 收藏 \| 浏览/下载：11/0 \| 提交时间：2010/05/26 激光光刻技术相移掩模准分子光刻无铬相移掩模交替相移掩模衰减相移掩模混合相移掩模
	KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究期刊论文 OAI收割功能材料与器件学报, 1998, 期号: 02, 页码: 55-59 作者: 梁静秋收藏 \| 浏览/下载：24/0 \| 提交时间：2013/03/11 激光光刻微细加工 LIGA工艺