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半导体物理 [1]
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准分子激光线形光束晶化非晶硅薄膜
期刊论文
OAI收割
量子电子学报, 2019, 卷号: 036
作者:
尹广玥
;
游利兵
;
陈星
;
邵景珍
;
陈亮
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浏览/下载:45/0
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提交时间:2020/11/25
薄膜
多晶硅
准分子激光退火
能量密度
搭接率
线形光束
用于低温多晶硅制备的线光束整形系统
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2017, 卷号: 44
作者:
尹广玥
;
游利兵
;
王庆胜
;
褚状状
;
陈亮
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浏览/下载:56/0
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提交时间:2020/11/23
激光技术
线光束整形
光束均匀性
准分子激光退火
低温多晶硅制备
氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析
期刊论文
OAI收割
激光与光电子学进展, 2017, 卷号: 54
作者:
邵景珍
;
王玺
;
胡红涛
;
方晓东
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收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2020/11/25
激光技术
薄膜
准分子激光退火
有限元分析
热效应
脉冲激光退火制备Ni/SiC欧姆接触
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
刘敏
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2016/05/26
脉冲激光退火
SiC欧姆接触
数值模拟
接触特性
用于平板显示 LTPS制备的 ELA光束整形系统
期刊论文
OAI收割
激光技术, 2016, 卷号: 040
作者:
尹广玥
;
游利兵
;
方晓东
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收藏
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浏览/下载:38/0
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提交时间:2020/11/25
激光技术
平板显示
准分子激光退火
低温多晶硅
光束整形
匀光
非晶硅薄膜的准分子激光晶化研究
期刊论文
OAI收割
红外与激光工程, 2015, 卷号: 044
-
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2020/10/26
准分子激光退火
非晶硅薄膜
多晶硅
能量密度
脉冲次数
0.73 J脉冲能量KrF准分子激光器的特性
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2013, 卷号: 025
作者:
赵家敏
;
游利兵
;
余吟山
;
方晓东
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收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2020/11/23
准分子激光器
激光退火
大能量
磁脉冲压缩
磁控反应溅射与激光退火处理制备高浓度氮掺杂二氧化钛晶化薄膜材料
期刊论文
OAI收割
中国基础科学, 2011, 期号: 1, 页码: 15-17
李琦
;
尚建库
收藏
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浏览/下载:64/0
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提交时间:2012/04/12
磁控反应溅射
激光退火
薄膜晶化
掺杂
驱动电子墨水电子纸的柔性TFT背板制造技术
期刊论文
OAI收割
液晶与显示, 2007, 期号: 2
杨澍
;
荆海
;
廖燕平
;
马仙梅
;
孔祥建
;
黄霞
;
付国柱
;
马凯
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2012/09/25
电子纸
电子墨水
薄膜晶体管
柔性金属基板
激光释放塑基电子技术
激光退火表面释放技术
有机薄膜晶体管
低温p-Si薄膜的制备研究
期刊论文
OAI收割
世界电子元器件, 2001, 期号: 11, 页码: 11-12
荆海
;
邱法斌
;
刘传珍
;
付国柱
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2013/03/11
薄膜材料:4711
激光能量密度:4246
多晶硅:4023
膜的制备:3777
激光退火:3106
金属诱导:2364
液晶显示技术:2337
硅薄膜:1706
结晶度:1693
中国科学院:1680