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	CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器阵列研究期刊论文 OAI收割浙江大学学报(工学版), 2011, 期号: 06 徐德辉; 熊斌; 王跃林收藏 \| 浏览/下载：18/0 \| 提交时间：2012/04/13 微机械热电堆红外探测器探测器阵列 CMOS兼容
	磷酸铁锂电池低温性能的研究期刊论文 OAI收割华南师范大学学报(自然科学版), 2009, 期号: S1 谢晓华; 张建; 李佳; 刘浩涵; 夏保佳收藏 \| 浏览/下载：22/0 \| 提交时间：2012/01/06 探测器微机械热电堆红外探测器自对准 CMOS兼容微机电系统
	CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器阵列研究会议论文 OAI收割第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议, 2009 徐德辉; 熊斌; 王跃林收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2012/01/18 微机械热电堆红外探测器热电偶材料多晶硅结构支撑膜干法各向同性硅腐蚀工艺
	MiWAVE宽带无线应急通信系统在四川抗震救灾中的应用期刊论文 OAI收割中国水利, 2008, 期号: 13 卜智勇收藏 \| 浏览/下载：29/0 \| 提交时间：2012/01/06 热电堆红外探测器干法刻蚀 XeF2气体
	CMOS兼容的干法刻蚀释放热电堆红外探测器学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2008 杨恒昭收藏 \| 浏览/下载：52/0 \| 提交时间：2012/03/06 热电堆探测器 XeF_2气体低应力Si_3N_4 N-MOSFET 单片集成
	硅铝结构热堆红外探测器学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2003 刘月英收藏 \| 浏览/下载：52/0 \| 提交时间：2012/03/06 探测器:5192 热电堆:4265 内应力:3094 各向异性腐蚀:2782 反射层:2690 半导体集成:2686 Si_3N_4:2662 微机械器件:2435 微机械加工:2241 硅膜:2241
	微机械热电堆红外探测器学位论文 OAI收割博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2002 徐峥谊收藏 \| 浏览/下载：71/0 \| 提交时间：2012/03/06 微电子机械系统热电堆热偶红外探测器悬臂梁封闭膜