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	用于液晶显示屏幕检测的大口径小角度LED光源设计期刊论文 OAI收割光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 186-193 作者: 王尧; 荆雷; 党博石; 孙强; 刘英收藏 \| 浏览/下载：22/0 \| 提交时间：2016/07/06 光学设计非成像光学匀光照明阵列式照明液晶显示器检测非均匀性
	基于复眼透镜的大面积均匀照明方案研究期刊论文 OAI收割应用光学, 2014, 期号: 5, 页码: 771-778 王沛沛; 杨西斌; 朱剑锋; 熊大曦收藏 \| 浏览/下载：35/0 \| 提交时间：2015/04/17 均匀照明复眼透镜大面积矩形光斑容错性
	实现均匀照度光伏聚光镜设计期刊论文 OAI收割光学学报, 2014, 期号: 2, 页码: 80-85 作者: 许文斌; 王尧; 卢振武; 刘华收藏 \| 浏览/下载：26/0 \| 提交时间：2015/04/17 几何光学非成像光学聚光光伏系统柯勒照明均匀性
	提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法期刊论文 OAI收割光学学报, 2012, 期号: 08, 页码: 161-167 作者: 赵阳; 巩岩; 赵阳收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2013/03/11 几何光学非平行反射扩束单元子光束叠加照明均匀性
	照明物镜像差对远场衍射波前质量影响的严格矢量分析期刊论文 OAI收割光学学报, 2012, 期号: 08, 页码: 82-88 作者: 马冬梅; 金春水收藏 \| 浏览/下载：34/0 \| 提交时间：2013/03/11 光学设计点衍射干涉仪矢量衍射照明物镜像差波面偏差强度均匀性
	光刻机照明均匀化技术的研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012 作者: 肖艳芬收藏 \| 浏览/下载：416/0 \| 提交时间：2016/11/28 光刻机照明系统微透镜阵列光束均匀化均匀性检测
	积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用期刊论文 OAI收割光子学报, 2006, 卷号: 35, 期号: 7, 页码: 981, 985 郭立萍; 黄惠杰; 王向朝收藏 \| 浏览/下载：1516/225 \| 提交时间：2009/09/24 光刻照明均匀性非序列光学元件积分棒
	高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究学位论文 OAI收割作者: 程伟林 \| 收藏 \| 浏览/下载：192/0 \| 提交时间：2018/12/26 高端光刻机照明系统 Advanced lithographic illumination 智能均匀性校正技术 intelligent uniformity correction 手指阵列式均匀性校正技术 finger arreys uniformity correction 阵列式手指驱动技术 finger array driving technology