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纳米尺度相变存储器新结构及关键工艺研发 学位论文  OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
付英春
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基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器的制作 学位论文  OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
罗振宇
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光学薄膜应力演化与面形控制 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
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光学薄膜应力演化与面形控制 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:  
方明
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硅微压电传声器与硅微压电超声换能器的研究 学位论文  OAI收割
博士, 声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2008
郝震宏
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绿色二氧化碳超流体半导体清洗设备 期刊论文  OAI收割
电子工业专用设备, 2008, 卷号: 37, 期号: 5, 页码: 5,14-17,34
作者:  
高超群;  李全宝;  刘茂哲;  景玉鹏
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绿色二氧化碳超临界清洗设备 期刊论文  OAI收割
微细加工技术, 2008, 期号: 4, 页码: 4,50-52,61
作者:  
高超群;  李全宝;  刘茂哲;  景玉鹏
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海底管线阴极保护状态的非接触式检测方法及其专有装置 专利  OAI收割
专利类型: 发明, 专利号: CN200610069706.9, 申请日期: 2007-04-04, 公开日期: 2007-04-04
李焰; 贾旭; 向斌; 鞠虹; 马瑛
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无线传感网中节点级能量有效策略的研究 期刊论文  OAI收割
系统仿真学报, 2007, 期号: 10
郑春雷; 姜华; 刘海涛
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MEMS器件的腐蚀与释放 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 增刊, 页码: 347-350
作者:  
陈大鹏;  焦斌斌;  欧毅;  石莎莉;  李超波
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