机构

• 金属研究所 [18]
• 水生生物研究所 [9]
• 上海微系统与信息技术... [2]
• 广州能源研究所 [2]
• 力学研究所 [1]
• 长春光学精密机械与物... [1]
• 更多

采集方式

• OAI收割 [34]

内容类型

• 期刊论文 [21]
• 会议论文 [6]
• 学位论文 [6]
• 成果 [1]

发表日期

• 2015 [1]
• 2014 [1]
• 2013 [2]
• 2010 [1]
• 2009 [2]
• 2008 [6]
• 更多

学科主题

• 红外探测材料与器件 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共34条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序 极紫外反射镜氧化物保护层的制备与表征 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 411-418 作者:  王珣;  金春水;  李春;  匡尚奇 收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2016/07/06 薄膜  极紫外保护层  直流反应磁控溅射  迟滞回线   BBFR-IVCW工艺对微污染水体的脱氮效果 期刊论文  OAI收割 环境科学研究, 2014, 期号: 7 孔令为; 贺锋; 徐栋; 张义; 吴振斌 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2015/01/16 生物质生物膜反应器(BBFR)  复合垂直流人工湿地(IVCW)  反硝化脱氮   DMBR-IVCW耦合工艺处理生活污水的研究 期刊论文  OAI收割 水处理技术, 2013, 期号: 8, 页码: 57-62+66 孔令为; 贺锋; 夏世斌; 徐栋; 张义; 吴振斌 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2014/01/02 动态膜生物反应器  复合垂直流人工湿地  耦合工艺  中水回用   不同C/N下BBFR-IVCW耦合工艺对微污染水体脱氮效果 期刊论文  OAI收割 环境工程学报, 2013, 期号: 8, 页码: 2818-2824 孔令为; 贺锋; 夏世斌; 徐栋; 唐光涛; 吴振斌 收藏  |  浏览/下载：63/0  |  提交时间：2014/01/02 生物质生物膜反应器  复合垂直流人工湿地  高氮寡碳微污染地表水  反硝化脱氮   氧、氩分压对直流反应溅射制备ZAO薄膜的性能影响 会议论文  OAI收割 第九届全国光电技术学术交流会, 北京, 2010-05 陆峰; 徐成海; 闻立时; 吴玉厚 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2013/08/21 ZAO薄膜  直流反应溅射  氧分压  氩分压   短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2009 作者:  宁锦华   |  收藏  |  浏览/下载：46/0  |  提交时间：2012/08/22 由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀（icp）台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下：icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf：nh4f：h2o为3：6：10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。   膜生物反应器-复合垂直流人工湿地(SMBR-IVCW)系统处理混合废水的应用研究 期刊论文  OAI收割 农业环境科学学报, 2009, 期号: 2 袁莉英; 梁威; 肖恩荣; 常军军; 吴振斌 收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2010/10/13 SMBR-IVCW  膜生物反应器  复合垂直流人工湿地  组合工艺  混合污水   双层TiO_xN_y光谱选择性吸收薄膜特性的研究 期刊论文  OAI收割 真空科学与技术学报, 2008, 期号: 5, 页码: 450-453 王贺权; 王志坚; 巴德纯; 沈辉; 陈达; 闻立时 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/04/12 直流反应磁控溅射  TiOxNy  选择性吸收薄膜  反射率   SMBR-IVCW组合工艺系统微生物种群结构研究 学位论文  OAI收割 博士, 水生生物研究所: 中国科学院水生生物研究所, 2008 杜诚 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2010/11/16 膜生物反应器  复合垂直流人工湿地  16S rDNA克隆文库  磷脂脂肪酸  荧光原位杂交  酶活  微生物种群结构   直流反应磁控溅射相关工艺条件对TiO_2薄膜反射率性质的影响 期刊论文  OAI收割 真空科学与技术学报, 2008, 期号: 1, 页码: 55-58 王贺权; 巴德纯; 沈辉; 闻立时 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/04/12 直流反应磁控溅射  二氧化钛薄膜  太阳电池  反射率