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机构
上海微系统与信息技术... [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [2]
学位论文 [1]
发表日期
2009 [1]
2008 [2]
学科主题
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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镁合金AZ31化学成膜及其耐蚀性研究
期刊论文
OAI收割
腐蚀科学与防护技术, 2009, 期号: 02
李春梅
;
卫中领
;
沈钰
;
王增辉
;
陈秋荣
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提交时间:2012/01/06
电容式加速度传感器
硅硅键合
圆片级真空封装
电容间隙控制
波长扩展InGaAs探测器的量子效率优化
期刊论文
OAI收割
半导体光电, 2008, 期号: 06
田招兵
;
顾溢
;
张晓钧
;
张永刚
收藏
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2012/01/06
电容式加速度传感器
硅硅键合
圆片级真空封装
一种电容间隙精确可控的硅硅键合三明治加速度传感器
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
毛健
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2012/03/06
电容式加速度传感器
硅硅键合
圆片级真空封装
电容间隙控制