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上海微系统与信息技... [10]
电子学研究所 [2]
半导体研究所 [2]
地球化学研究所 [1]
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OAI收割 [15]
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期刊论文 [8]
学位论文 [7]
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2017 [1]
2015 [1]
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半导体器件 [2]
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用于波分复用光互连的硅基光源产生机理和实现方法研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
刘荣瑞
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提交时间:2017/06/02
硅基光互连
异质键合
混合Si/III-V族激光器
垂直光栅耦合
反射光栅
多波长硅基混合激光器阵列研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
袁丽君
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浏览/下载:103/0
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提交时间:2015/05/28
选区金属键合
硅基混合激光器
掺Fe掩埋异质结激光器
掩埋脊波导激光器
多波长混合激光器阵列
硅量子点的形状及其弯曲表面效应
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2013, 期号: 8, 页码: 182-187
作者:
黄伟其
;
周年杰
;
尹君
;
苗信建
;
黄忠梅
;
陈汉琼
;
苏琴
;
刘世荣
;
秦朝建
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2020/12/22
硅量子点
弯曲表面效应
表面键合
局域能级
薄膜SOI上大于600 V LDMOS器件的研制
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2012, 期号: 4, 页码: 254-257
王中健
;
夏超
;
徐大伟
;
程新红
;
宋朝瑞
;
俞跃辉
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浏览/下载:44/0
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提交时间:2013/02/22
绝缘体上硅
横向扩散金属氧化物半导体
击穿电压
线性渐变掺杂
注氧键合
低温等离子体键合与新型高速衬底材料制备
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2010
马小波
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浏览/下载:39/0
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提交时间:2012/03/06
低温等离子体键合
绝缘体上的硅(SOI)
绝缘体上锗硅(SGOI)
绝 缘体上的锗(GeOI)
应变硅(strained Si)
一种硅埋置型微波多芯片组件封装的电性能
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2009, 期号: 02
戚龙松
;
罗乐
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/01/06
聚二甲基硅氧烷
液滴型微流控芯片
等离子键合
热扩散键合
基于自停止腐蚀的双面梁-质量块结构加速度传感器研究
学位论文
OAI收割
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2008
肖飞
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提交时间:2012/03/06
微电子机械系统
加速度传感器
自停止腐蚀
硅-硅键合
基于自停止腐蚀的双面梁—质量块结构加速度传感器研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
肖飞
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/03/06
微电子机械系统
加速度传感器
自停止腐蚀
硅-硅键合
自呼吸式硅微机械氢燃料电池的阳极流场优化
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2007, 期号: 09
郑丹
;
倪卫其
;
姜伟
;
张熙贵
;
张鲲
;
夏保佳
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2012/01/06
电容式加速度传感器
硅/硅键合
圆片级真空封装
硅四层键合MEMS电容式加速度传感器研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2007
徐玮鹤
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2012/03/06
电容式加速度传感器
硅-硅键合
圆片级真空封装