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共102条,第1-10条
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变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真
期刊论文
OAI收割
激光技术, 2019, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 136-142
作者:
张景文
;
范斌
;
李志炜
;
汉语
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提交时间:2021/05/11
光学制造
反应离子刻蚀
变结构腔室
流热场分布
滑移区稀薄气体
数值模拟
氘等离子体辐照下第一壁防护材料的刻蚀与燃料滞留行为研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2019
作者:
乔丽
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浏览/下载:134/0
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提交时间:2019/10/31
第一壁材料
钨
低活化钢
氘等离子体
燃料滞留与刻蚀
First wall material
Tungsten
Reduced-activation ferritic-martensitic steel
Deuterium plasma
Fuel retention and erosion
基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟
期刊论文
OAI收割
红外与毫米波学报, 2019, 卷号: 38, 期号: 3, 页码: 331-337
作者:
刘向阳
;
徐国庆
;
贾嘉
;
孙艳
;
李向阳
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浏览/下载:338/0
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提交时间:2019/11/13
碲镉汞
离子束
刻蚀轮廓
水平集方法
刻蚀速度减缓
深宽比
InAs/GaSb Ⅱ类超晶格台面的ICP刻蚀研究
期刊论文
OAI收割
红外与毫米波学报, 2019, 卷号: 38, 期号: 2, 页码: 171-174
作者:
许佳佳
;
黄敏
;
徐庆庆
;
徐志成
;
王芳芳
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提交时间:2019/11/13
电感耦合等离子
刻蚀
InAs/GaSb Ⅱ类超晶格
焦平面
高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
沈晨
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提交时间:2019/09/23
曲面光栅离子束刻蚀机
三维工作台
凸面光栅
摆动刻蚀
硅改性RB-SiC
HgCdTe器件中pn结结区扩展的表征方法
期刊论文
OAI收割
红外与毫米波学报, 2017, 期号: 1, 页码: 54-59
作者:
翁彬
;
周松敏
;
王溪
;
陈奕宇
;
李浩
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2018/11/20
HgCdTe
激光束诱导电流
I-V测试
B+离子注入
干法刻蚀
大高宽比纳米硅立柱的感应耦合等离子体刻蚀工艺优化
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2017, 期号: 7, 页码: "77-81"
作者:
李欣
;
刘建朋
;
陈烁
;
张思超
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提交时间:2018/08/17
Hsq
深反应离子刻蚀
硅纳米柱
高宽比
硬x射线
新型高效率传输阵列天线研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院国家空间科学中心, 2016
作者:
刘广
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提交时间:2016/07/15
传输阵列天线
微波网络理论
太赫兹
UV-LIGA
深反应离子刻蚀技术
高效率
反应离子束刻蚀工艺制作闪耀罗兰光栅
期刊论文
OAI收割
纳米技术与精密工程, 2015, 期号: 04, 页码: 239-243
作者:
谭鑫
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2016/07/06
衍射效率
反应离子束刻蚀
粗糙度
罗兰光栅
宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2015, 期号: 07, 页码: 1978-1983
作者:
吴娜
;
谭鑫
;
于海利
;
张方程
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提交时间:2016/07/06
全息光栅
宽波段光栅
离子束刻蚀
刻蚀模拟