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变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真 期刊论文  OAI收割
激光技术, 2019, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 136-142
作者:  张景文;  范斌;  李志炜;  汉语
  |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2021/05/11
氘等离子体辐照下第一壁防护材料的刻蚀与燃料滞留行为研究 学位论文  OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2019
作者:  乔丽
  |  收藏  |  浏览/下载：135/0  |  提交时间：2019/10/31
基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟 期刊论文  OAI收割
红外与毫米波学报, 2019, 卷号: 38, 期号: 3, 页码: 331-337
作者:  刘向阳;  徐国庆;  贾嘉;  孙艳;  李向阳
  |  收藏  |  浏览/下载：341/0  |  提交时间：2019/11/13
InAs/GaSb Ⅱ类超晶格台面的ICP刻蚀研究 期刊论文  OAI收割
红外与毫米波学报, 2019, 卷号: 38, 期号: 2, 页码: 171-174
作者:  许佳佳;  黄敏;  徐庆庆;  徐志成;  王芳芳
  |  收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2019/11/13
高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  沈晨
  |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2019/09/23
HgCdTe器件中pn结结区扩展的表征方法 期刊论文  OAI收割
红外与毫米波学报, 2017, 期号: 1, 页码: 54-59
作者:  翁彬;  周松敏;  王溪;  陈奕宇;  李浩
  |  收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2018/11/20
大高宽比纳米硅立柱的感应耦合等离子体刻蚀工艺优化 期刊论文  OAI收割
强激光与粒子束, 2017, 期号: 7, 页码: "77-81"
作者:  李欣;  刘建朋;  陈烁;  张思超;  邓彪
  |  收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2018/08/17
新型高效率传输阵列天线研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院国家空间科学中心, 2016
作者:  刘广
收藏  |  浏览/下载：67/0  |  提交时间：2016/07/15
反应离子束刻蚀工艺制作闪耀罗兰光栅 期刊论文  OAI收割
纳米技术与精密工程, 2015, 期号: 04, 页码: 239-243
作者:  谭鑫
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/07/06
宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2015, 期号: 07, 页码: 1978-1983
作者:  
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/07/06