机构

• 上海微系统与信息技术... [3]
• 兰州化学物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 会议论文 [2]
• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2011 [1]
• 2004 [1]
• 2003 [1]
• 1993 [1]

学科主题

• 材料科学与物理化学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 应用埋氧层注氮工艺对SIMOX SOI材料辐射加固的研究 会议论文  OAI收割 第八届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术交流会, 2011 郑中山; 刘忠立; 张国强; 李宁; 李国花; 张恩霞; 张正选; 王曦 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2012/01/18 埋氧层注氮工艺 SIMOX材料 离子注入 氮注入 抗辐射加固 C-V平带电压   氧氮共注入提高SIMOX材料抗辐射性能研究 会议论文  OAI收割 上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会, 2004 张恩霞; 钱聪; 张正选; 王曦; 张国强; 李宁; 郑中山; 刘忠立 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/01/18 氧氮共注 离子注入 辐照加固 半导体器件   微桥法研究低应力氮化硅力学特性及误差分析 期刊论文  OAI收割 机械强度, 2003, 期号: 04 宗登刚; 王钻开; 陆德仁; 王聪和 收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2012/01/06 氧氮共注  SIMON  SOI  离子注入   基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能 期刊论文  OAI收割 摩擦学学报, 1993, 卷号: 13, 期号: 2, 页码: 137-144 张平余; 刘洪; 张军; 王秀娥; 张绪寿 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2014/11/19 离子注氮  基体预处理  TiN镀层  结合强度  耐磨性  nitrogen implantation  substrate pretreatment  TiN coatings  adhesive strength  anti-wear properties