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	SIMOX SOI埋氧注氮工艺对埋氧中固定正电荷密度的影响期刊论文 OAI收割物理学报, 2007, 期号: 09 郑中山; 张恩霞; 刘忠立; 张正选; 李宁; 李国花收藏 \| 浏览/下载：31/0 \| 提交时间：2012/01/06 加速度传感器非平行极板阻尼等效电学模型阶跃响应可靠工作范围
	MEMS电容式加速度传感器相关检测技术研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2006 吴浩收藏 \| 浏览/下载：123/0 \| 提交时间：2012/03/06 电容式加速度传感器等效电学模型调制解调力平衡可靠工作范围
	多孔硅外延转移技术制备以氮化硅为绝缘埋层的SOI新结构期刊论文 OAI收割半导体学报, 2003, 期号: 02 谢欣云; 刘卫丽; 门传玲; 林青; 沈勤我; 林成鲁收藏 \| 浏览/下载：25/0 \| 提交时间：2012/01/06 微机械陀螺等效电学模型
	电容式振动微机械陀螺接口电路的设计、模拟与测试学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海冶金研究所 , 2001 黄小振收藏 \| 浏览/下载：59/0 \| 提交时间：2012/03/06 微机械陀螺:8164 接口电路:4127 电容式:3752 检测电路:1014 自激驱动:593 振动式:555 等效电学模型:522 电容模型:296 滤波带宽:296 电容检测:279