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	高频热等离子体制备球形钨粉的研究会议论文 OAI收割第十五届全国等离子体科学技术会议, 中国安徽黄山, 2011-08-08 作者: 胡鹏; 胡鹏; 胡鹏收藏 \|
	短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究学位论文 OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2009 作者: 宁锦华 \| 收藏 \|
	平滑陡直的Si深槽刻蚀方法期刊论文 OAI收割半导体技术, 2009, 卷号: 34, 期号: 3, 页码: 4，214-216,220 作者: 张育胜 \| 收藏 \|
	微波低温等离子体裂解天然气制乙炔装置与工艺研究期刊论文 OAI收割中国基础科学, 2006, 期号: 1, 页码: 13-14 杨永进收藏 \|
	高密度等离子体刻蚀机中的终点检测技术期刊论文 OAI收割微电子学, 2005, 卷号: 35, 期号: 3, 页码: 5，236-239,244 作者: 王巍; 叶甜春; 陈大鹏; 刘明; 李兵 \| 收藏 \|
	等离子体键合和B+/H+共注实现低温SOI工艺的研究会议论文 OAI收割第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005 马小波; 詹达; 刘卫丽; 宋志棠; 沈勤我; 林梓鑫收藏 \|
	我国等离子体工艺研究进展期刊论文 OAI收割物理, 1999, 卷号: 28, 期号: 7, 页码: 388 作者: 吴承康收藏 \|
	等离子体法制备超微活性钙会议论文 OAI收割钙剂的基础研究及临床应用——’96全国第一届钙剂研讨会, 中国山西太原, 1996-8-1 作者: 范支鹏收藏 \|
	苏联低温等离子体主要研究单位一览期刊论文 OAI收割力学进展, 1985, 卷号: 15, 期号: 2, 页码: 269-270 作者: 唐福林收藏 \|