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氮化硅表面生长金刚石薄膜及其摩擦磨损性能研究
期刊论文
OAI收割
沈阳建筑大学学报. 自然科学版, 2017, 卷号: 33, 期号: 4, 页码: 688-695
作者:
张珂
;
姜云浩
;
陆峰
;
刘鲁生
;
翟朝峰
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2021/02/26
金刚石
氮化硅
微波等离子体化学气相沉积
微观结构
摩擦磨损
GaN基SBD功率器件研究进展
期刊论文
OAI收割
微纳电子技术, 2014, 卷号: 51, 期号: 5
李迪
收藏
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2015/05/29
氮化镓
肖特基势垒二极管
功率器件
肖特基金属
漏电流
等离子体处理
等离子体氮化与物理气相沉积复合处理的研究进展
期刊论文
OAI收割
机械工程材料, 2012, 期号: 6, 页码: 1-4+71
赵彦辉
;
董利民
;
杜昊
;
于传跃
;
肖金泉
;
于宝海
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2013/02/23
等离子体氮化
物理气相沉积
复合处理
组织
性能
ICP刻蚀GaN侧壁倾角以及刻蚀速率的控制
期刊论文
OAI收割
固体电子研究与进展, 2012, 卷号: 32, 期号: 3
作者:
黄伟
;
蔡勇
;
张宝顺
收藏
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浏览/下载:40/0
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提交时间:2013/01/22
电感耦合等离子体
刻蚀
氮化镓
侧壁倾角
射频功率
MH/Ni电池的储存性能与电极活性材料的结构
期刊论文
OAI收割
电池, 2008, 期号: 05
娄豫皖
;
杨传铮
;
夏保佳
收藏
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2012/01/06
立方氮化硼表面硬化层
渗硼
等离子体浸没式离子注入(PⅢ)
显微硬度
摩擦性能
平面光路中交叉波导的损耗和串扰研究
期刊论文
OAI收割
半导体光电, 2008, 期号: 04
万助军
;
袁菁
;
吴亚明
;
罗风光
收藏
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2012/01/06
等离子体氮化
迁移率
时变击穿
GaN的刻蚀、P型欧姆接触以及LED的研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
刘北平
收藏
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浏览/下载:49/0
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提交时间:2012/03/06
氮化镓
发光二极管
干法刻蚀
感应耦合等离子体
P型欧姆接触
新型锂蓄电池正极含硫复合材料的研究
期刊论文
OAI收割
电源技术, 2004, 期号: 05
李颖
;
付逊
;
胡广侠
;
谢晓华
;
解晶莹
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提交时间:2012/01/06
立方氮化硼(cBN)
渗硼
等离子体浸没式离子入注(PIII)
微波等离子体化学法合成TiN纳米粉体材料研究
会议论文
OAI收割
2002年纳微粉体制备与技术应用研讨会, 中国北京, 2002-05
黄生乔
;
马兵
;
荣金龙
收藏
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浏览/下载:53/0
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提交时间:2013/09/29
微波等离子体
氮化钛
纳米粉体材料
微波等离子体化学气相合成氮化钛、氮化硅纳米粉体研究
学位论文
OAI收割
硕士, 中国科学院过程工程研究所: 中国科学院过程工程研究所, 2002
黄生乔
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2013/09/16
微波等离子体
化学气相沉积
氮化钦
氮化硅
纳米粉体