机构

• 上海微系统与信息技... [11]
• 力学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [12]

内容类型

• 期刊论文 [8]
• 会议论文 [2]
• 学位论文 [2]

发表日期

• 2011 [2]
• 2010 [1]
• 2009 [2]
• 2008 [1]
• 2007 [2]
• 2006 [3]
• 更多

学科主题

• 力学 [1]

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浏览/检索结果: 共12条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 纳米梁的金硅原电池腐蚀和无损释放技术研究 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2011, 期号: 02 戴斌; 杨恒; 陆松涛 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/04/13 氢氟酸  原电池腐蚀  HF蒸气腐蚀  纳米梁   基于MOS电容衬底压阻的纳米梁检测研究 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2011, 期号: 12 丁萃; 成海涛; 杨恒 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2012/04/13 纳米梁  谐振器  压阻检测  MOS电容   石墨/LiCoO_2电池充放电过程电极活性材料结构演变研究 期刊论文  OAI收割 化学学报, 2010, 期号: 07 李佳; 杨传铮; 张建; 张熙贵; 夏保佳 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/01/06 纳米梁  各向异性腐蚀  FIB   用于纳米梁位移检测的MOS电容下压阻结构 会议论文  OAI收割 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议, 2009 成海涛; 杨恒; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2012/01/18 金属氧化物半导体 纳米梁 位移检测 压阻结构   集成硅微机械谐振式悬臂梁传感器与快速生化检测 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 于海涛 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/03/06 微机电系统  　生化传感器  　悬臂梁  　电热驱动  　压阻检测  　快速重复检测  　超枝化敏感膜  　多壁碳纳米管　   频率选择性信道下基于虚拟MIMO-STBC的无线传感器网络中功率分配的研究 期刊论文  OAI收割 高技术通讯, 2008, 期号: 07 严凯; 邱云周; 丁盛; 朱明华; 刘海涛 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/01/06 双端固支硅纳米梁  感生电动势检测  谐振特性  静电驱动   单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2007, 期号: 09 董培涛; 李昕欣; 张鲲; 吴学忠; 李圣怡; 封松林 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS  纳米梁  各向异性腐蚀  硅  纳米谐振器   基于压阻检测的双端固支硅纳米梁研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 赵全斌   收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2012/03/06 微纳机电系统  双端固支硅纳米梁  压阻检测  Ar离子注入  谐振特性     微梁传感器弹性模量的测试 期刊论文  OAI收割 中国科学技术大学学报, 2006, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 567-572 作者:  张天林;  郭哲颖;  张青川;  张泰华;  何世平 收藏  |  浏览/下载：2413/280  |  提交时间：2007/06/15 微悬臂梁式传感器  红外探测器  弹性模量  谱面滤波  多普勒测振仪  纳米硬度计   基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究 会议论文  OAI收割 传感技术学报, 2006 赵全斌; 焦继伟; 杨恒; 林梓鑫; 李铁; 张颖; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/01/18 双端固支硅纳米梁 压阻检测 Ar离子轰击 谐振特性