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机构
上海微系统与信息技术... [5]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
学位论文 [4]
期刊论文 [1]
发表日期
2010 [2]
2006 [1]
2005 [2]
学科主题
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共5条,第1-5条
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高压LDMOS晶体管准饱和效应分析与建模
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2010, 期号: 01
王磊
;
杨华岳
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浏览/下载:106/0
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提交时间:2012/01/06
绝缘体上的硅锗
注氧隔离
埋氧
氧化
低温等离子体键合与新型高速衬底材料制备
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2010
马小波
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浏览/下载:38/0
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提交时间:2012/03/06
低温等离子体键合
绝缘体上的硅(SOI)
绝缘体上锗硅(SGOI)
绝 缘体上的锗(GeOI)
应变硅(strained Si)
SGOI、SODI新结构材料及其相关技术研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
狄增峰
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2012/03/06
SiGe
绝缘体上的硅(SOI)
绝缘体上的锗硅(SGOI)
应变硅
高K栅介质
等离子浸没式离子注入
自加热效应
厚膜SOI材料和SiGeOI材料制备研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2005
程新利
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2012/03/06
厚膜绝缘体上的硅
绝缘体上的锗硅
注氧隔离
气相外延
氢
SGOI材料的SIMOX制备技术研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2005
陈志君
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/03/06
掩盖注氧隔离技术
氧化增强注氧隔离技术
绝缘体上的锗硅
应变硅