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	基于FBAR技术的湿度和气压信号检测电路关键技术研究学位论文 OAI收割硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2018 - \| 收藏 \| 浏览/下载：26/0 \| 提交时间：2018/06/02 薄膜体声波传感器接口电路振荡器相位噪声湿压检测
	电极化对FBAR应力负载效应影响的分析期刊论文 OAI收割压电与声光, 2018, 卷号: 40, 期号: 3, 页码: 366-369 作者: 文数文; 王宇航; 高杨; 张大鹏 \| 收藏 \| 浏览/下载：23/0 \| 提交时间：2019/09/24 微机电系统力学传感器薄膜体声波谐振器应力负载效应电极化效应解析模型
	基于氧化锌薄膜体声波谐振器的传感器及系统研究学位论文 OAI收割博士, 北京: 中国科学院大学, 2017 张萌颖收藏 \| 浏览/下载：21/0 \| 提交时间：2017/06/07 薄膜体声波谐振器+增敏设计+温度控制+气体传感器+压力传感器
	MEMS射频薄膜体声波谐振器（FBAR）研究学位论文 OAI收割博士, 声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2009 汤亮收藏 \| 浏览/下载：222/0 \| 提交时间：2011/05/07 微机电系统薄膜体声波谐振器高次谐波体声波谐振器氧化锌氮化铝滤波器振荡器传感器