机构

• 上海微系统与信息技术... [4]
• 长春光学精密机械与物... [1]
• 电子学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [6]

内容类型

• 期刊论文 [3]
• 学位论文 [2]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2015 [1]
• 2007 [2]
• 2006 [2]
• 2005 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 PC微流控芯片黏接筋与溶剂的协同辅助键合 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2015, 期号: 03, 页码: 708-713 作者:  范建华;  邓永波 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/07/06 微流控芯片  键合工艺  黏接筋  聚碳酸酯  丙酮溶剂  热压   1.3 μm VCSEL结构制作研究 学位论文  OAI收割 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007 谢正生 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2012/03/06 垂直腔面发射激光器  气态源分子束外延  金属键合  器件工艺   1.3μm VCSEL结构制作研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 谢正生   收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/03/06 垂直腔面发射激光器  气态源分子束外延  金属键合  器件工艺     混合电动车用D型MH-Ni电池充电时热行为的研究 期刊论文  OAI收割 化学世界, 2006, 期号: 12 娄豫皖; 楼英莺; 王文; 夏保佳 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/01/06 光电器件  金属键合  工艺  表征  应用  垂直腔面发射激光器   一种扭摆式硅微机械加速度传感器 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2006, 卷号: 25, 期号: 8, 页码: 85-88 毋正伟，陈德勇，杨苗苗，徐磊 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/09/02 加速度传感器 体硅工艺 电容式 阳极键合 微机电系统   等离子体键合和B+/H+共注实现低温SOI工艺的研究 会议论文  OAI收割 第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005 马小波; 詹达; 刘卫丽; 宋志棠; 沈勤我; 林梓鑫 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/01/18 等离子体键合 低温SOI工艺 硼氢离子共注