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	硅玻璃激光键合技术及芯片级原子钟气密性学位论文 OAI收割博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012 张志强收藏 \| 浏览/下载：171/0 \| 提交时间：2013/04/24 芯片级原子钟激光键合键合强度气密性多层缓冲原子腔
	Si/Glass激光键合的仿真及实验研究期刊论文 OAI收割中国激光, 2012, 期号: 7, 页码: 86-95 张志强; 徐静; 李绍良; 吴亚明收藏 \| 浏览/下载：21/0 \| 提交时间：2013/02/22 光学制造激光键合有限元方法键合强度气密性能谱分析线扫描
	低温Au-Si键合及压力开关研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2010 荆二荣收藏 \| 浏览/下载：92/0 \| 提交时间：2012/03/06 键合 Au-Si键合键合强度微结构分析红外显微镜
	从MEMS到NEMS进程中的技术思考期刊论文 OAI收割微纳电子技术, 2008, 期号: 01 李昕欣; 夏晓媛; 张志祥收藏 \| 浏览/下载：22/0 \| 提交时间：2012/01/06 微机电系统阳极键合玻璃薄膜电子束蒸发键合强度
	基于低温键合技术制备SOI材料的研究会议论文 OAI收割第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005 詹达; 马小波; 刘卫丽; 宋志棠; 林梓鑫; 沈勤我收藏 \| 浏览/下载：40/0 \| 提交时间：2012/01/18 SOI材料等离子体活化键合强度低温键合
	微力学测试仪在MEMS键合强度测试中的应用期刊论文 OAI收割机械强度, 2005, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 331-334 作者: 郇勇; 张泰华; 杨业敏; 阮勇; 张大成收藏 \| 浏览/下载：2206/248 \| 提交时间：2007/06/15 微电子机械系统键合微悬臂梁强度