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金属研究所 [6]
上海微系统与信息技术... [2]
上海光学精密机械研究... [2]
长春光学精密机械与物... [1]
采集方式
OAI收割 [11]
内容类型
期刊论文 [9]
会议论文 [1]
学位论文 [1]
发表日期
2012 [1]
2009 [2]
2008 [2]
2007 [1]
2006 [2]
2005 [2]
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学科主题
光学薄膜 [2]
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采用水基原子层沉积工艺在石墨烯上沉积Al_2O_3介质薄膜研究
期刊论文
OAI收割
无机材料学报, 2012, 期号: 9, 页码: 956-960
张有为
;
万里
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程新红
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王中健
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夏超
;
曹铎
;
贾婷婷
;
俞跃辉
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  |  
中频反应磁控溅射制备Al_2O_3:CeCl_3薄膜及其光致发光特性
期刊论文
OAI收割
稀有金属材料与工程, 2009, 期号: 4, 页码: 700-704
廖国进
;
骆红
;
闫绍峰
;
巴德纯
;
闻立时
收藏
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硅基薄膜复合衬底无源器件建模及其关键技术研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2009
周紫卓
收藏
  |  
中频反应磁控溅射制备Al_2O_3:Ce薄膜及其光致发光特性
期刊论文
OAI收割
稀有金属材料与工程, 2008, 期号: 3, 页码: 490-494
廖国进
;
巴德纯
;
闻立时
;
朱振华
;
刘斯明
收藏
  |  
4H-SiC基底Al_2O_3/SiO_2双层减反射膜的设计和制备
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2008, 卷号: 28, 期号: 12, 页码: 2431, 2435
黄火林
;
张峰
;
吴正云
;
齐红基
;
姚建可
;
范正修
;
邵建达
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  |  
中频反应磁控溅射Al_2O_3薄膜的光学性质
期刊论文
OAI收割
东北大学学报(自然科学版), 2007, 期号: 5, 页码: 687-691
廖国进
;
闻立时
;
巴德纯
;
刘斯明
收藏
  |  
中频反应磁控溅射制备Al_2O_3:Ce~(3+)薄膜的蓝色发光特性
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2006, 期号: 5, 页码: 421-424
巴德纯
;
廖国进
;
闻立时
;
刘斯明
;
阎绍峰
收藏
  |  
氧化铝薄膜在发光方面的研究进展
期刊论文
OAI收割
材料导报, 2006, 期号: 5, 页码: 26-29
廖国进
;
巴德纯
;
闻立时
;
刘斯明
;
阎绍峰
收藏
  |  
氧化铝薄膜在发光方面的研究进展
会议论文
OAI收割
2005全国真空冶金与表面工程学术会议, 沈阳, 2005-07-14
廖国进
;
巴德纯
;
闻立时
;
阎绍峰
收藏
  |  
高反射率193nm Al2O3/MgF2反射膜的实验研究
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2005, 卷号: 32, 期号: 5, 页码: 685, 688
尚淑珍
;
易葵
;
侯海虹
;
张大伟
;
邵建达
;
范正修
收藏
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