机构

• 电子学研究所 [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]
• 合肥物质科学研究院 [1]
• 兰州化学物理研究所 [1]
• 工程热物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [2]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2016 [1]
• 2015 [2]
• 2001 [1]
• 1990 [1]

学科主题

• 传感器 [1]
• 材料科学与物理化学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 谢波 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2016/06/04 谐振式压力传感器  静电激励/电容检测  阳极键合真空封装  SOI通孔引线  Au电极无掩膜制作  温度自补偿   Cu/Au纳米涂层在温度梯度作用下的分子模拟研究 会议论文  OAI收割 2015年中国工程热物理学会热力学学术年会, 2015 作者:  李期斌;  唐启忠;  刘朝;  彭铁锋;  张晓敏 收藏  |  浏览/下载：56/0  |  提交时间：2016/01/14 纳米多层膜  Cu/Au  均方位移  分子动力学   基于Au辅助化学刻蚀法实现低成本制备硅纳米线阵列 期刊论文  OAI收割 半导体光电, 2015, 卷号: 36 -   |  收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2020/10/26 Au膜  金属辅助化学刻蚀  Si纳米线  浸润层  低成本   丝焊互连的高温可靠性和相关问题的研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2001 杜黎光   收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/03/06 高温丝焊互连可靠性  Pd  Pd／Ti膜  Au/Ti膜  互扩散  气氛     MoS2-Au共溅膜的结构与性能之研究 期刊论文  OAI收割 固体润滑, 1990, 卷号: 10, 期号: 2, 页码: 84-95 王其明; 徐锦芬; 党鸿辛 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2014/05/23 MoS2-Au共溅膜  MoS2溅射膜  表面形貌  微观结构  摩擦学性能  抗湿性能  MoS2-Au co-sputtered films  surface topography  microstructure  tribological properties