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	微机械P/N多晶硅热电堆红外探测器阵列及真空封装技术研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2010 李艳龙收藏 \| 浏览/下载：157/0 \| 提交时间：2012/03/06 红外热电堆微电子机械系统 Cu/Sn等温凝固 MEMS封装
	Cu/Sn等温凝固键合技术在MEMS圆片级气密封装中的应用学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2006 李莉收藏 \| 浏览/下载：24/0 \| 提交时间：2012/03/06 圆片级气密封装等温凝固 Cu/Sn体系微谐振器可靠性
	微小差分电容检测技术的研究期刊论文 OAI收割测试技术学报, 2004, 期号: 03 朱武; 张佳民; 熊斌; 车录锋; 王跃林收藏 \| 浏览/下载：11/0 \| 提交时间：2012/01/06 芯片键合等温凝固 Cu/Sn体系微结构
	Cu/Sn等温凝固键合在MEMS气密封装中的应用研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2004 杜茂华收藏 \| 浏览/下载：21/0 \| 提交时间：2012/03/06 芯片键合气密封装等温凝固 Cu/Sn体系