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机构
上海微系统与信息技术... [4]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
1999 [1]
1998 [1]
1995 [1]
1993 [1]
学科主题
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共4条,第1-4条
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大面积平坦金刚石薄膜的制备和图形化
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 1999, 期号: 04
张志明
;
沈荷生
;
何贤昶
;
万永中
;
杨艺蓉
;
任琮欣
收藏
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提交时间:2012/03/29
K1 金刚石薄膜
平坦表面
离子束刻蚀
金刚石薄膜电子场发射研究进展
期刊论文
OAI收割
材料导报, 1998, 期号: 06
茅东升
;
赵俊
;
李炜
;
王曦
;
柳襄怀
;
诸玉坤
;
周江云
;
范忠
;
李琼
;
徐静芳
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/29
K1 金刚石薄膜
电子场发射性能
进展
用TEOSPECVD氧化硅做掩蔽层选择性生长金刚石薄膜
期刊论文
OAI收割
华东师范大学学报(自然科学版), 1995, 期号: 04
何奕骅
;
许春芳
;
范焕章
;
孙卓
;
王学军
;
郑志豪
;
朱建中
;
杨申仲
收藏
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浏览/下载:67/0
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提交时间:2012/03/29
K1 金刚石
选择性
PETEOS氧化硅
掩蔽层
衬底温度
成核密度
热丝CVD生长金刚石薄膜喇曼散射研究
期刊论文
OAI收割
光学学报, 1993, 期号: 11
张晓峰
;
许宁
;
张广富
;
郑志豪
;
庄志诚
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提交时间:2012/03/29
K1 金刚石薄膜
散射
非线性拟合