中国科学院机构知识库网格系统: 检索

浏览/检索结果: 共9条，第1-9条

帮助

条数/页：排序方式：
	硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制期刊论文 OAI收割仪表技术与传感器, 2009, 期号: S1 王家畴; 李昕欣; 孙立宁收藏 \| 浏览/下载：32/0 \| 提交时间：2012/01/06 UV-LIGA 电镀厚胶工艺射频无源器件微机械探卡
	铜材料X射线聚焦组合透镜的设计与制作期刊论文 OAI收割光学技术, 2004, 期号: 01, 页码: 20-23 作者: 梁静秋收藏 \| 浏览/下载：11/0 \| 提交时间：2013/03/11 铜材料X射线聚焦组合透镜透镜参数设计准LIGA制作工艺
	基于LIGA技术的微细电火花加工期刊论文 OAI收割机械工人.冷加工, 2004, 期号: 1, 页码: 26-28 作者: 彭良强收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2015/12/25 微细电火花加工 LIGA技术微细加工技术工具电极微型机电系统研究机构喷墨打印机成形电极特种加工磨削工艺
	电磁型平面微电机及其制作工艺期刊论文 OAI收割光学精密工程, 2003, 期号: 02, 页码: 120-124 作者: 吴一辉; 王淑荣收藏 \| 浏览/下载：13/0 \| 提交时间：2013/03/11 平面微电机 LIGA工艺
	基于微机械工艺的平面电机及其制作会议论文 OAI收割中国北京作者: 吴一辉; 梁静秋; 张平收藏 \| 浏览/下载：25/0 \| 提交时间：2013/03/19 平面微电机定子转子 LIGA工艺
	KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究期刊论文 OAI收割功能材料与器件学报, 1998, 期号: 02, 页码: 55-59 作者: 梁静秋收藏 \| 浏览/下载：24/0 \| 提交时间：2013/03/11 激光光刻微细加工 LIGA工艺
	准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用期刊论文 OAI收割光学精密工程, 1995, 期号: 03, 页码: 64-66 作者: 王飞; 梁静秋; 王飞收藏 \| 浏览/下载：12/0 \| 提交时间：2013/03/11 微型机械 LIGA工艺准LIGA工艺微齿轮
	用于微机械工艺的精密电铸设备期刊论文 OAI收割光学精密工程, 1995, 期号: 03, 页码: 60-63 陈英俊; 徐峰林; 宣明收藏 \| 浏览/下载：12/0 \| 提交时间：2013/03/11 微型机械 LIGA工艺精密电铸设备
	LIGA工艺探讨期刊论文 OAI收割光学精密工程, 1993, 期号: 06, 页码: 67-70 王志勤; 姚劲松; 宣明; 王一凡收藏 \| 浏览/下载：9/0 \| 提交时间：2013/03/11 LIGA工艺 X射线掩模