机构

• 上海微系统与信息技术... [6]

采集方式

• OAI收割 [6]

内容类型

• 期刊论文 [6]

发表日期

• 2010 [2]
• 2009 [1]
• 2008 [2]
• 2003 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Characterization and analysis of silicon on insulator fabricated by separation by implanted oxygen layer transfer 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2010, 卷号: 28, 期号: 1, 页码: 163-168 Wei,X; Wu,AM; Wang,X; Li,XY; Ye,F; Chen,J; Chen,M; Zhang,B; Li,CL; Zhang,M; Wang,X 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/03/24 LOW-DOSE SEPARATION  PSEUDO-MOS TRANSISTOR  BURIED OXIDE LAYERS  THERMAL-OXIDATION  WAFERS  SOI  FILM  SOICMOS   Investigation on Silicon on Insulator Fabricated by Separation by Implanted Oxygen Layer Transfer 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 2010, 卷号: 157, 期号: 1, 页码: H81-H85 Wei, X; Wu, AM; Wang, X; Li, XY; Ye, F; Chen, J; Chen, M; Zhang, B; Lin, CL; Zhang, M; Wang, X 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/03/24 LOW-DOSE SEPARATION  BURIED-OXIDE  THERMAL-OXIDATION  FILM  SOI  WAFERS   Gettering layer for oxygen accumulation in the initial stage of SIMOX processing 期刊论文  OAI收割 NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2009, 卷号: 267, 期号: 8-9, 页码: 1273-1276 Ou, X; Kogler, R; Skorupa, W; Moller, W; Wang, X; Gerlach, JW 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/03/24 LOW-DOSE SEPARATION  ON-INSULATOR MATERIAL  BURIED OXIDE  IMPLANTED SILICON  ENERGY  REGION  WAFERS   Fabrication of thin-film silicon on insulator by separation by implanted oxygen layer transfer 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2008, 卷号: 26, 期号: 6, 页码: L45-L47 Wei, X; Wu, AM; Chen, M; Chen, J; Zhang, M; Wang, X; Lin, CL 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/03/24 LOW-DOSE SEPARATION  BURIED-OXIDE  THERMAL-OXIDATION  WAFERS   Fabrication of Silicon-on-Insulator Wafer by SIMOX Layer Transfer 期刊论文  OAI收割 2008 IEEE INTERNATIONAL SOI CONFERENCE, PROCEEDINGS, 2008, 页码: 81-82 Wei, X; Zhang, B; Chen, M; Zhang, M; Wang, X; Lin, CL 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/03/24 LOW-DOSE SEPARATION  BURIED-OXIDE  THERMAL-OXIDATION   Low defect density and planar patterned SOI materials by masked SIMOX 期刊论文  OAI收割 CHEMICAL PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 378, 期号: 5-6, 页码: 470-473 Dong, YM; Wang, X; Wang, X; Chen, M; Chen, J 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/03/24 LOW-DOSE SEPARATION  IMPLANTATION  ENERGY  WAFERS