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机构
半导体研究所 [4]
采集方式
iSwitch采集 [2]
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2005 [1]
2001 [2]
2000 [1]
学科主题
半导体物理 [2]
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浏览/检索结果:
共4条,第1-4条
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Investigation of mn-implanted n-si by low-energy ion beam deposition
期刊论文
iSwitch采集
Journal of crystal growth, 2005, 卷号: 273, 期号: 3-4, 页码: 458-463
作者:
Liu, LF
;
Chen, NF
;
Song, SL
;
Yin, ZG
;
Yang, F
收藏
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2019/05/12
Auger electron spectroscopy
X-ray diffraction
Low-energy ion beam deposition
Semiconducting silicon
Influence of ion energy and deposition temperature on the surface morphology of carbon films deposited by ion beams
期刊论文
iSwitch采集
Acta physica sinica, 2001, 卷号: 50, 期号: 7, 页码: 1324-1328
作者:
Liao, MY
;
Qin, FG
;
Chai, CL
;
Liu, ZK
;
Yang, SY
收藏
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2019/05/12
Amorphous carbon
Surface morphology
Mass-selected low energy ion beam deposition
Influence of ion energy and deposition temperature on the surface morphology of carbon films deposited by ion beams
期刊论文
OAI收割
acta physica sinica, 2001, 卷号: 50, 期号: 7, 页码: 1324-1328
Liao MY
;
Qin FG
;
Chai CL
;
Liu ZK
;
Yang SY
;
Yao ZY
;
Wang ZG
收藏
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浏览/下载:137/13
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提交时间:2010/08/12
amorphous carbon
surface morphology
mass-selected low energy ion beam deposition
TETRAHEDRAL AMORPHOUS-CARBON
BIAS-ENHANCED NUCLEATION
ATOMIC-FORCE MICROSCOPY
DIAMOND-LIKE CARBON
SILICON
GROWTH
MODEL
Carbon film deposited by mass-selected low energy ion beam technique and ion bombardment effect
期刊论文
OAI收割
acta physica sinica, 2000, 卷号: 49, 期号: 11, 页码: 2186-2190
Liao MY
;
Zhang JH
;
Qin FG
;
Liu ZK
;
Yang SY
;
Wang ZG
;
Lee ST
收藏
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浏览/下载:53/0
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提交时间:2010/08/12
amorphous carbon
ion bombardment
mass-selected low energy ion beam
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
BIAS-ENHANCED NUCLEATION
DIAMOND FILMS
RAMAN-SCATTERING
GROWTH
SILICON
MECHANISM