机构

• 电子学研究所 [3]
• 上海微系统与信息技术... [3]

采集方式

• OAI收割 [6]

内容类型

• 期刊论文 [5]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2012 [2]
• 2010 [1]
• 2008 [1]
• 2007 [2]

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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113 蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2013/02/22 三明治电容式MEMS加速度传感器  自停止腐蚀  品质因数  器件级真空封装  双面划片   MEMS谐振器的并联电容噪声抑制 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2012, 期号: 5, 页码: 318-322 唐梦; 冯明; 程新红 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2013/02/22 MEMS谐振器  质量传感器  生化检测  电容补偿  频率噪声   探空微型电容压力传感器设计 会议论文  OAI收割 第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003 武宇; 赵湛; 方震; 陈超; 张博军 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/09/04 电容压力传感器  MEMS   GaSb/InGaAsSb量子阱的带间跃迁设计 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2008, 期号: 03 刘盛; 张永刚 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/01/06 电容式传感器  MEMS  信号调理  检测电路   MEMS高精度电容读出电路的单芯片集成研究 期刊论文  OAI收割 电子器件, 2007, 卷号: 30, 期号: 4, 页码: 1187-1193 尹韬; 杨海钢 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2010/05/19 电容读出电路  MEMS电容传感器  电容分辨率  CMOS   MEMS高精度电容读出电路的单芯片集成研究 期刊论文  OAI收割 电子器件, 2007, 卷号: 30, 期号: 4, 页码: 1187-1193 尹韬; 杨海钢 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2010/05/19 电容读出电路  MEMS电容传感器  电容分辨率  CMOS